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SF6를 포함하는 폐가스를 공급하는 폐가스 공급부; 상기 폐가스 공급부로부터 공급되는 폐가스를 회수기체와 투과기체로 분리하는 복수의 분리막 모듈; 상기 복수의 분리막 모듈에 공급되는 폐가스 유량을 측정하는 유량측정수단; 상기 각각의 분리막 모듈에 진공압을 인가하는 진공펌프; 및 상기 유량측정수단에 의해 측정된 폐가스 유량(Ff)을 아래의 식에 대입하여 압력차(ΔP)를 산출하고, 상기 압력차(ΔP)와 미리 설정된 분리막 모듈의 내외부 압력차(ΔPm) 사이의 차이값(ΔP-ΔPm)을 산출하며, 상기 차이값(ΔP-ΔPm)에 해당하는 진공압이 상기 분리막 모듈에 인가되도록 상기 진공펌프를 제어하는 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은 운전되는 분리막 모듈의 수 및 각각의 분리막 모듈에 인가되는 진공압을 선택적으로 조절하며, 운전되는 분리막 모듈의 총 최대처리유량(Ffmax)은 상기 폐가스 공급부로부터 공급되는 폐가스 유량보다 큰 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 복수의 분리막 모듈은 병렬 배치되며, 각각의 분리막 모듈에 독립적으로 폐가스가 주입되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은, 측정된 폐가스 유량이 운전되는 분리막 모듈이 처리할 수 있는 최대처리유량(Ffmax)을 초과하는 경우, 분리막 모듈을 추가 운전시키며, 상기 측정된 폐가스 유량과 상기 최대처리유량(Ffmax)의 차이에 해당하는 진공압을 상기 식을 통해 산출하고, 산출된 진공압을 상기 추가 운전되는 분리막 모듈에 인가하는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어수단은, 측정된 폐가스 유량이 운전되는 분리막 모듈이 처리할 수 있는 최대처리유량(Ffmax)을 초과하는 경우, 분리막 모듈을 추가 운전시키며, 상기 측정된 폐가스 유량에 해당하는 진공압을 상기 식을 통해 산출하고, 산출된 진공압을 운전되는 분리막 모듈에 배분하여 인가하는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 복수의 분리막 모듈은 온도 조절이 가능한 항온장치 내에 구비되며, 상기 항온장치의 온도 조절을 통해 분리막 모듈의 최대처리유량(Ffmax)을 증가 또는 감소시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 SC값은 일정한 값으로 고정된 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 복수의 분리막 모듈로 이루어지는 분리막 모듈 군이 직렬 반복 배치되며, 첫 번째 분리막 모듈 군에 의해 회수된 회수기체는 두 번째 분리막 모듈 군에 주입되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 분리막 모듈은 상압 하에 노출되고 상기 분리막 모듈의 내부에 진공압이 인가되며, 상기 분리막 모듈의 내외부 압력차는 상압과 인가된 진공압의 차이인 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
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복수의 분리막 모듈을 이용하여 SF6를 포함하는 폐가스를 회수기체와 투과기체로 분리하는 SF6 분리회수방법에 있어서, 공급되는 폐가스 유량에 대응하여 각각의 분리막 모듈의 내외부 압력차를 설정하고, 상기 분리막 모듈의 내외부 압력차는 상압과 분리막 모듈에 인가되는 진공압의 차이인 단계; 공급되는 폐가스 유량 대비 투과기체 유량을 일정하게 유지시킨 상태에서 상기 복수의 분리막 모듈을 운전시키는 단계; 상기 복수의 분리막 모듈에 공급되는 폐가스 유량을 측정하는 단계; 및 측정된 폐가스 유량(Ff)을 아래의 식에 대입하여 압력차(ΔP)를 산출하고, 상기 압력차(ΔP)와 미리 설정된 분리막 모듈의 내외부 압력차(ΔPm) 사이의 차이값(ΔP-ΔPm)을 산출하며, 상기 차이값(ΔP-ΔPm)에 해당하는 진공압을 상기 분리막 모듈에 인가하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수방법
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제 11 항에 있어서, 측정된 폐가스 유량이 운전되는 분리막 모듈의 총 최대처리유량(Ffmax)을 초과하는 경우 여분의 분리막 모듈을 운전시키고 신규 운전되는 분리막 모듈에 해당 차이(ΔP-ΔPm)에 상응하는 진공압을 인가하는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수방법
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