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반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치

  • 기술번호 : KST2015122953
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치에 관한 것으로, 외부케이스(12)의 내측에 설치된 시료받침통(14)의 하측으로 냉각가스를 유,출입시킬 수 있도록 내,외측관(18)(18')을 설치하고, 시료받침통(14)의 외측에는 시료를 가열하기 위한 밴드 히터(15)를 설치하여, 시료를 시료받침통(14)에 얹어 놓는 상태에서 냉각가스를 유출입시키거나 밴드 히터(15)를 가열하여 77 K∼800 K까지 온도를 조절할 수 있도록 함으로서, 깊은준위결함에 관한 다양한 정보를 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/67098(2013.01)
출원번호/일자 1019990001045 (1999.01.15)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0279055-0000 (2000.10.26)
공개번호/일자 10-2000-0050897 (2000.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20010115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.01.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김춘근 대한민국 서울특별시강남구
2 박용주 대한민국 서울특별시성북구
3 김은규 대한민국 서울특별시강북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.01.15 수리 (Accepted) 1-1-1999-0002152-22
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 1999.01.16 수리 (Accepted) 1-1-1999-5009647-67
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
6 등록사정서
Decision to grant		 2000.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0261541-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

상측이 개방되고 내측에 일정크기의 공간부가 형성되어 있으며 하부 일측에 진공을 유지시키기 위한 진공유출구가 설치되어 있는 외부케이스와, 그 외부케이스의 내측에 설치되며 시료를 얹어 놓기 위한 시료받침통과, 그 시료받침통의 외측면에 밀착설치되어 시료받침통을 가열하기 위한 밴드 히터와, 상기 시료받침통의 하단부에 연결설치되며 냉각가스를 유,출입시킬 수 있도록 되어 있는 내,외측관과, 상기 시료받침통의 상면에 접촉설치되는 열전대와, 상기 외부케이스의 상측에 복개가능하도록 설치되는 덮개를 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치
2 2

제 1항에 있어서, 상기 시료받침통의 내부 상측에는 방사상으로 열의 균일도를 유지하기 위한 원통형 열전도판이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치

3 3

제 1항에 있어서, 상기 시료받침통의 상,하측 및 외측에 외부케이스로 열이 전달되는 것을 차단하기 위한 열차단판이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치

4 4

제 1항에서 있어서, 상기 내,외측관의 외측에는 내,외측관을 통하여 외부케이스에 열이 전달되는 것을 차단하기 위한 스페이서관이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치

5 5

제 1항에 있어서, 상기 덮개의 상측에는 시료를 확인할 수 있도록 유리가 구비된 뷰포트가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 과도용량 측정장비의 온도조절장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.