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회수하고자 하는 목표기체가 포함된 공급기체를 공급하는 공급기체 공급부; 공급기체와 제 2 회수기체를 혼합하는 기체혼합부; 공급기체와 제 2 회수기체의 혼합기체를 설정된 제 1 SC값(θ1)에 따라 제 1 투과기체와 제 1 회수기체로 분리하는 제 1 기체분리막모듈; 및 상기 제 1 투과기체를 설정된 제 2 SC값(θ2)에 따라 제 2 투과기체와 제 2 회수기체로 분리하는 제 2 기체분리막모듈을 포함하여 이루어지며, 상기 제 2 회수기체는 상기 기체혼합부에 공급되며, 제 2 회수기체의 목표기체 농도가 공급기체의 목표기체 농도와 일치되도록 제 2 SC값(θ2)이 설정되며, 상기 제 1 SC값(θ1)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 SC값(θ2)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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3
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 SC값(θ2)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 압축탱크과 제 2 압축탱크가 더 구비되며, 상기 제 1 압축탱크는 공급기체와 제 2 회수기체의 혼합기체를 특정 공급압력으로 제 1 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 2 압축탱크는 제 1 투과기체를 특정 공급압력으로 제 2 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력은 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 5 항에 있어서, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력(P)과 제 2 압축탱크의 공급압력(P)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 6 항에 있어서, 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력을 제어하기 위해 공급압력 제어부가 더 구비되며, 상기 공급압력 제어부는 공급기체의 유량 변화를 체크하여 청구항 5에 기재된 식을 이용하여 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력을 설정하는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 설정된 목표농축도(e1)에 따라 제 1 기체분리막모듈의 제 1 SC값(θ1)을 제어하여 제 1 기체분리막모듈의 제 1 투과기체 유량 및 제 1 회수기체 유량을 조절하는 제 1 SC조절기와, 제 2 회수기체의 목표기체 농도가 공급기체 내의 목표기체 농도(XF)와 일치되도록 제 2 기체분리막모듈의 제 2 SC값(θ2)을 제어하여 제 2 기체분리막모듈의 제 2 투과기체 유량 및 제 2 회수기체 유량을 조절하는 제 2 SC조절기를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식을 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식을 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식을 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 목표기체가 포함된 공급기체는 SF6를 포함된 폐가스 또는 불화가스를 포함하는 폐가스이며, 상기 목표기체는 SF6 또는 불화가스인 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수장치
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제 1 기체분리막모듈과 제 2 기체분리막모듈을 구성하고, 제 1 기체분리막모듈을 통해 주입기체를 제 1 투과기체와 제 1 회수기체로 분리하고, 제 2 기체분리막모듈은 제 1 기체분리막모듈의 제 1 투과기체를 제 2 투과기체와 제 2 회수기체로 분리하며, 제 1 기체분리막모듈에는 공급기체와 제 2 기체분리막모듈의 제 2 회수기체가 공급되며, 상기 제 1 기체분리막모듈은 주입기체를 설정된 제 1 SC값(θ1)에 따라 제 1 투과기체와 제 1 회수기체로 분리하며, 상기 제 2 기체분리막모듈은 제 1 투과기체를 설정된 제 2 SC값(θ2)에 따라 제 2 투과기체와 제 2 회수기체로 분리하며, 제 2 회수기체의 목표기체 농도가 공급기체의 목표기체 농도와 일치되도록 상기 제 2 SC값(θ2)이 설정되며, 상기 제 1 SC값(θ1)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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제 13 항에 있어서, 상기 제 2 SC값(θ2)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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제 13 항에 있어서, 상기 제 2 SC값(θ2)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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제 13 항에 있어서, 제 1 압축탱크과 제 2 압축탱크가 더 구비되며, 상기 제 1 압축탱크는 공급기체와 제 2 회수기체의 혼합기체를 특정 공급압력으로 제 1 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 2 압축탱크는 제 1 투과기체를 특정 공급압력으로 제 2 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력은 동일하게 설정되며, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력(P)과 제 2 압축탱크의 공급압력(P)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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제 13 항에 있어서, 상기 제 1 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식 1을 통해 설정되고, 상기 제 2 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식 2를 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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제 13 항에 있어서, 상기 제 2 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식을 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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제 13 항에 있어서, 상기 목표기체가 포함된 공급기체는 SF6를 포함된 폐가스 또는 불화가스를 포함하는 폐가스이며, 상기 목표기체는 SF6 또는 불화가스인 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 목표기체 회수방법
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