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직렬 연결되는 복수의 목표기체 회수장치를 포함하며, 상기 목표기체 회수장치는, 주입기체, 제 2 회수기체 및 제 3 회수기체를 혼합하는 기체혼합부; 주입기체, 제 2 회수기체 및 제 3 회수기체의 혼합기체를 설정된 제 1 SC값에 따라 제 1 투과기체와 제 1 회수기체로 분리하는 제 1 기체분리막모듈; 및 상기 제 1 투과기체를 설정된 제 2 SC값에 따라 제 2 투과기체와 제 2 회수기체로 분리하는 제 2 기체분리막모듈을 포함하여 구성되며, 후단의 목표기체 회수장치의 제 2 기체분리막모듈의 제 2 투과기체를 설정된 제 3 SC값에 따라 제 3 회수기체와 제 3 투과기체로 분리하는 제 3 기체분리막모듈을 더 포함하며, 상기 제 2 회수기체와 제 3 회수기체는 상기 기체혼합부에 공급되며, 제 2 회수기체의 목표기체 농도 및 제 3 회수기체의 목표기체 농도가 주입기체의 목표기체 농도와 일치되도록 제 2 SC값 및 제 3 SC값이 설정되며, 상기 복수의 목표기체 회수장치는 직렬 연결되는 제 1 목표기체 회수장치와 제 2 목표기체 회수장치를 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 목표기체 회수장치의 전단에 회수하고자 하는 목표기체가 포함된 주입기체를 제 1 목표기체 회수장치의 기체혼합부에 공급하는 주입기체 공급부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 목표기체 회수장치의 제 2 기체분리막모듈의 제 2 SC값(θ12)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 2 목표기체 회수장치의 제 2 기체분리막모듈의 제 2 SC값(θ22)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 3 기체분리막모듈의 제 3 SC값(θ23)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 목표기체 회수장치의 제 1 기체분리막모듈의 제 1 SC값(θ11)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 2 목표기체 회수장치의 제 1 기체분리막모듈의 제 1 SC값(θ21)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 압축탱크과 제 2 압축탱크가 더 구비되며, 상기 제 1 압축탱크는 주입기체, 제 2 회수기체 및 제 3 회수기체의 혼합기체를 특정 공급압력으로 제 1 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 2 압축탱크는 제 1 투과기체를 특정 공급압력으로 제 2 기체분리막모듈로 공급하며, 상기 제 1 압축탱크의 공급압력과 제 2 압축탱크의 공급압력은 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 설정된 목표농축도에 따라 제 1 기체분리막모듈의 제 1 SC값을 제어하여 제 1 기체분리막모듈의 제 1 투과기체 유량 및 제 1 회수기체 유량을 조절하는 제 1 SC조절기와, 제 2 회수기체의 목표기체 농도가 주입기체 내의 목표기체 농도와 일치되도록 제 2 기체분리막모듈의 제 2 SC값을 제어하여 제 2 기체분리막모듈의 제 2 투과기체 유량 및 제 2 회수기체 유량을 조절하는 제 2 SC조절기와, 제 3 회수기체의 목표기체 농도가 주입기체 내의 목표기체 농도와 일치되도록 제 3 기체분리막모듈의 제 3 SC값을 제어하여 제 3 기체분리막모듈의 제 3 투과기체 유량 및 제 3 회수기체 유량을 조절하는 제 3 SC조절기를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 목표기체 회수장치의 제 1 기체분리막모듈과 제 2 기체분리막모듈의 막면적은 각각 아래의 식 1, 식 2를 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 2 목표기체 회수장치의 제 1 기체분리막모듈과 제 2 기체분리막모듈의 막면적은 각각 아래의 식 1, 식 2를 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 제 3 기체분리막모듈의 막면적은 아래의 식을 통해 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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제 1 항에 있어서, 상기 목표기체가 포함된 주입기체는 SF6를 포함된 폐가스 또는 불화가스를 포함하는 폐가스이며, 상기 목표기체는 SF6 또는 불화가스인 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수장치
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복수의 목표기체 회수장치가 직렬 연결되며, 상기 목표기체 회수장치는, 제 1 기체분리막모듈과 제 2 기체분리막모듈을 구성되고, 제 1 기체분리막모듈을 통해 혼합기체를 제 1 투과기체와 제 1 회수기체로 분리하고, 제 2 기체분리막모듈은 제 1 기체분리막모듈의 제 1 투과기체를 제 2 투과기체와 제 2 회수기체로 분리하며, 제 3 기체분리막모듈이 제 2 기체분리막모듈의 제 2 투과기체를 제 3 회수기체와 제 3 투과기체로 분리하며, 제 1 기체분리막모듈에는 주입기체, 제 2 회수기체 및 제 3 회수기체가 공급되며, 상기 제 1 기체분리막모듈은 주입기체, 제 2 회수기체 및 제 3 회수기체의 혼합기체를 설정된 제 1 SC값에 따라 제 1 투과기체와 제 1 회수기체로 분리하며, 상기 제 2 기체분리막모듈은 제 1 투과기체를 설정된 제 2 SC값에 따라 제 2 투과기체와 제 2 회수기체로 분리하며, 상기 제 3 기체분리막모듈은 제 2 투과기체를 설정된 제 3 SC값에 따라 제 3 투과기체와 제 3 회수기체로 분리하며, 제 2 회수기체의 목표기체 농도 및 제 3 회수기체의 목표기체 농도가 주입기체의 목표기체 농도와 일치되도록 제 2 SC값 및 제 3 SC값이 설정되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수방법
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제 15 항에 있어서, 제 1 목표기체 회수장치의 제 2 기체분리막모듈의 제 2 SC값(θ12)은 아래의 식 1을 통해 산출되고, 제 2 목표기체 회수장치의 제 2 기체분리막모듈의 제 2 SC값(θ22)은 아래의 식 2를 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수방법
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제 15 항에 있어서, 제 3 기체분리막모듈의 제 3 SC값(θ23)은 아래의 식을 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체분리막모듈을 이용한 고농축 목표기체 회수방법
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