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소정의 격자 간격을 가지는 가상격자를 만드는 가상격자형성부; 피측정물체에 상기 가상격자형성부에서 만들어진 가상격자를 투사하는 영사부; 가상격자가 투사된 상기 피측정물체 상에 피측정물체의 표면의 요철로 인해 생기는 모아레 현상에 따른 변형격자의 영상데이터를 얻는 영상입력부; 상기 영상입력부에서 받아들인 영상데이터를 디지털데이터로 변환하는 디지털변환부; 및 상기 디지털변환부에서 변환된 변형격자의 디지털데이터를 받아들이고, 받아들인 디지털데이터와 상기 가상격자와 같은 피치를 가지는 동일한 직선격자인 기준격자의 데이터와의 연산을 통해 피측정물체의 모아레 위상도를 생성하는 영상데이터연산부로 구성되고, 상기 영사부의 영사계광축과 상기 영상입력부의 결상계광축은 평행하며, 상기 가상격자형성부는 2개의 상이한 격자간격을 갖는 가상격자를 만들고, 상기 영상데이터연산부는 상기 2개의 상이한 가상격자 각각에 대하여 모아레 위상도를 각각 생성하고, 상기 생성한 각각의 모아레 위상도를 합성하여 피측정물체의 형상데이터를 생성하는 것을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가상격자형성부는 가상격자의 격자 간격을 별도의 구동장치 없이 조절하는 것을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 형상측정장치는, 피측정물체의 크기를 고려하여 피측정물체의 주위에 소정의 각도를 이루도록 배치되어 멀티헤드 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정시스템을 구성하는 것임을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정장치
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소정의 격자 간격을 가지는 제1가상격자를 만드는 제1가상격자형성 단계(a); 피측정물체에 상기 제1가상격자를 투사하는 영사 단계(b); 상기 제1가상격자가 투사된 상기 피측정물체 상에 피측정물체의 표면의 요철로 인해 생기는 모아레 현상에 따른 변형격자의 영상데이터를 상기 단계(b)의 영사 광축과 평행한 광축으로 얻는 단계(c); 상기 변형격자의 영상데이터를 디지털데이터로 변환하는 단계(d); 상기 변형격자의 디지털데이터와 상기 제1가상격자와 같은 피치를 가지는 동일한 직선격자인 기준격자의 데이터와의 연산을 통해 피측정물체의 제1모아레 위상도를 생성하는 단계(e); 상기 단계(a)에서 만든 가상격자와 상이한 격자간격을 갖는 제2가상격자를 만드는 제2가상격자형성 단계(f); 피측정물체에 상기 제2가상격자를 투사하는 영사 단계(g); 상기 제2가상격자가 투사된 상기 피측정물체 상에 피측정물체의 표면의 요철로 인해 생기는 모아레 현상에 따른 변형격자의 영상데이터를 상기 단계(g)의 영사 광축과 평행한 광축으로 얻는 단계(h); 상기 변형격자의 영상데이터를 디지털데이터로 변환하는 단계(i); 상기 변형격자의 디지털데이터와 상기 제2가상격자와 같은 피치를 가지는 동일한 직선격자인 기준격자의 데이터와의 연산을 통해 피측정물체의 제2모아레 위상도를 생성하는 단계(j); 및 상기 제1모아레 위상도 및 상기 제2모아레 위상도를 합성하여, 피측정물체의 형상데이터를 생성하는 단계(k)로 구성되는 것을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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제 4 항에 있어서, 피측정물체의 크기를 고려하여 피측정물체의 주위에 소정의 각도와 위치를 설정하고, 설정된 각각 다른 위치별로 상기 방법을 통하여 피측정물체의 형상데이터를 복수개 생성하는 단계(l)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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제 5 항에 있어서, 상기 단계(l)은 각각 다른 위치에서 피측정물체의 형상데이터를 동시에 측정하는 것임을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 단계(l)에 의하여 측정된 형상데이터들을 하나의 좌표계로 위치를 통일시켜주는 레지스트레이션 단계(m); 상기 단계(m)의 레지스트레이션 결과로부터 각 측정위치 사이의 상대위치행렬을 구하는 단계(n); 및 상기 단계(n)에 의한 상대위치행렬로부터 각 측정위치 간의 상대 위치를 정밀하게 계산하여 각 측정 데이터를 유연하게 연결하는 캘리브레이션 단계(o)를 더 포함하는 것임을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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제 7 항에 있어서, 상기 캘리브레이션 단계(o)는, ICP에 기반한 레지스트레이션 알고리즘을 이용하는 것임을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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제 8 항에 있어서, 상기 ICP에 기반한 레지스트레이션 알고리즘을 이용할 때, 거리가 기준 한도 이상이 되는 점쌍, 한 점이라도 메쉬 경계 위에 있는 점쌍, 및 거리 또는 법선 벡터 등과 같이 기하학적 성질이 인접한 다른 점들과 상이한 모든 점쌍은 상기 ICP에 기반한 레지스트레이션 알고리즘의 이용에 있어서 포함시키지 않는 휴리스틱 조건을 함께 적용하는 것을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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제 8 항에 있어서, 상기 ICP에 기반한 레지스트레이션 알고리즘을 이용할 때, 거리가 기준 한도 이상이 되는 점쌍, 한 점이라도 메쉬 경계 위에 있는 점쌍, 및 거리 또는 법선 벡터 등과 같이 기하학적 성질이 인접한 다른 점들과 상이한 모든 점쌍은 상기 ICP에 기반한 레지스트레이션 알고리즘의 이용에 있어서 포함시키지 않는 휴리스틱 조건을 함께 적용하는 것을 특징으로 하는 이중파장 영사식 모아레 기반 형상측정방법
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