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소정 공간의 진공실이 저면 중앙부에 형성되고, 상기 진공실의 바깥 주위에 원주방향으로 홈이 형성되며, 상기 홈의 바깥 주위에 원주방향으로 소정 공간의 압력실이 형성된 패드몸체와; 상기 홈의 상단면에 내재되는 탄성력을 갖는 고무 실링(seal ring)과; 상기 홈에 고무 실링을 압축하면서 패드몸체의 축방향으로 이동 가능하게 내재되고, 그 저면은 수직 또는 수평 벽면에 닿게되는 슬라이드 링과; 상기 슬라이드 링의 하부 이동을 제한하면서 그 이탈을 방지할 수 있도록 상기 홈에 삽입 장착되는 이탈 방지링과; 상기 패드몸체의 상면으로부터 상기 압력실의 상단까지 관통 형성된 공압제공경로와; 상기 공압제공경로의 끝단부가 되는 상기 압력실의 상단에 장착된 입구오리피스와; 상기 패드 몸체의 가장 바깥쪽 저면을 이루는 상기 압력실의 바깥 주위면과 상기 수직 또는 수평벽면 간의 틈새로 이루어지는 출구 오리피스와; 상기 진공실과 연통되도록 패드 몸체의 중앙부를 따라 관통 형성된 진공제공경로와; 상기 공압제공경로에 연결되는 공압 개폐밸브와; 상기 진공제공경로에 연결되는 진공압 개폐밸브로 구성된 슬라이드 가능한 진공패드
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