맞춤기술찾기

이전대상기술

초소형 렌즈 어레이 제조방법

  • 기술번호 : KST2015123321
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광 집적용 소자에 사용되는 초소형 렌즈 어레이 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 초소형 렌즈 어레이 제작을 위한 Si 몰드 마스터의 제작과 폴리머 물질과의 분리시 발생하는 점착력(adhesion) 문제를 해결할 수 있는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체기판 상부에 산화막을 증착하는 단계와; 상기 산화막 상부에 감광막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광막 패턴을 식각장벽으로 이용하여 산화막 패턴을 형성하는 단계와; 식각 개스를 이용하여 상기 산화막 패턴을 식각장벽으로 등방성 식각 하여 반도체기판 하부에 원하는 패턴 만큼에 해당하는 크기를 갖는 언더컷이 진 렌즈 어레이 마스터를 형성하는 단계와; 상기 반도체기판 상부에 남아있는 산화막 패턴을 제거하는 단계와; 상기 결과물 전표면에 일정 두께의 폴리머를 증착하는 단계와; 상기 반도체기판 상부에 증착된 폴리머를 Si 마스터 구조물과 분리시켜 마이크로 렌즈 어레이의 형상을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징을 하는 초소형 렌즈 어레이 제조방법이 제시된다. 따라서, 본 발명은 기존의 렌즈 어레이 보다 효율적인 마이크로 렌즈 어레이 성능을 얻을 수 있고, Si 초소형 렌즈 어레이 마스터와 폴리머 물질 사이의 디몰딩(demolding)시 발생할 수 있는 점착력(adhesion) 문제를 최소화하여 신뢰성 있는 초소형 렌즈 어레이의 제조가 가능하다. 초소형 렌즈 어레이, SAM, 폴리머, 점착력, 등방성식각, 언더컷
Int. CL B81C 1/00 (2006.01)
CPC B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01) B81C 1/00031(2013.01)
출원번호/일자 1020010027084 (2001.05.17)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0490873-0000 (2005.05.12)
공개번호/일자 10-2002-0088146 (2002.11.27) 문서열기
공고번호/일자 (20050523) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.05.17)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도남양주시
2 박상하 대한민국 서울특별시동작구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.05.17 수리 (Accepted) 1-1-2001-0115042-08
2 신규성(출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Certificate of Novelty(Special Provisions for Application)
2001.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2001-5143565-04
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061208-53
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2003.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0027511-45
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2003.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0339598-73
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2003.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0403250-90
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2003.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2003-0450103-88
10 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2003.12.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0502800-46
11 의견서
Written Opinion
2003.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0502782-12
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0326917-86
13 의견서
Written Opinion
2004.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2004-0456687-93
14 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.10.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0456686-47
15 등록결정서
Decision to grant
2005.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0105258-68
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체기판 상부에 산화막을 증착하는 단계와; 상기 산화막 상부에 감광막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광막 패턴을 식각장벽으로 이용하여 산화막 패턴을 형성하는 단계와; 식각 개스를 이용하여 상기 산화막 패턴을 식각장벽으로 등방성 식각 하여 반도체기판 하부에 원하는 패턴 만큼에 해당하는 크기를 갖는 언더컷이 진 렌즈 어레이 마스터를 형성하는 단계와; 상기 반도체기판 상부에 남아있는 산화막 패턴을 제거하는 단계와; 상기 결과물 전표면에 일정 두께의 폴리머를 증착하는 단계와; 상기 반도체기판 상부에 증착된 폴리머를 반도체기판 마스터와 분리시켜 마이크로 렌즈 어레이의 형상을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징을 하는 초소형 렌즈 어레이 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 폴리머를 대체하여 유리질 물질이 증착되는 것을 특징으로 하는 초소형 렌즈 어레이 제조방법
3 3
반도체기판 상부에 산화막을 증착하는 단계와; 상기 산화막 상부에 감광막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광막 패턴을 식각장벽으로 이용하여 산화막 패턴을 형성하는 단계와; 식각 개스를 이용하여 상기 산화막 패턴을 식각장벽으로 등방성 식각 하여 반도체기판 하부에 원하는 패턴 만큼에 해당하는 크기를 갖는 언더 컷을 형성하는 단계와; 상기 식각된 반도체기판의 하부 표면에 SAM 코팅을 실시하여 반도체기판 마스터를 형성하는 단계와; 상기 결과물 전표면에 폴리머를 증착한 후, 증착된 폴리머를 반도체기판 마스터와 분리시켜 마이크로 렌즈 어레이의 형상을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징을 하는 초소형 렌즈 어레이 제조방법
4 3
반도체기판 상부에 산화막을 증착하는 단계와; 상기 산화막 상부에 감광막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 감광막 패턴을 식각장벽으로 이용하여 산화막 패턴을 형성하는 단계와; 식각 개스를 이용하여 상기 산화막 패턴을 식각장벽으로 등방성 식각 하여 반도체기판 하부에 원하는 패턴 만큼에 해당하는 크기를 갖는 언더 컷을 형성하는 단계와; 상기 식각된 반도체기판의 하부 표면에 SAM 코팅을 실시하여 반도체기판 마스터를 형성하는 단계와; 상기 결과물 전표면에 폴리머를 증착한 후, 증착된 폴리머를 반도체기판 마스터와 분리시켜 마이크로 렌즈 어레이의 형상을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징을 하는 초소형 렌즈 어레이 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.