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안구 결막 내에 삽입되도록 적용된 통합형 안구 센서로서,안구에서 생성된 체액이 흐르도록 적용된 채널이 형성된 체액 튜브,상기 체액 튜브와 연결된 압력 센서부, 및상기 압력 센서부와 전기적으로 연결된 송신부를 포함하고,상기 압력 센서부는제1 부재,상기 제1 부재와 이격된 제2 부재, 및상기 제1 부재와 상기 제2 부재에 각각 내장된 한 쌍의 도전층들를 포함하고,상기 한 쌍의 도전체의 이격 거리는 상기 체액의 압력에 따라 가변되는 통합형 안구 센서
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제1항에서,상기 체액 튜브와 연결되고 상기 압력 센서부와 이격되어 위치하는 배수 밸브부를 더 포함하고,상기 체액의 흐름 방향에 따라 상기 압력 센서부와 상기 배수 밸브부가 차례로 위치하는 통합형 안구 센서
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제2항에서,상기 제1 부재와 상기 제2 부재는 일체로 형성되고, 상기 제2 부재에는 상기 제1 부재에 대향하는 개구부가 형성된 통합형 안구 센서
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제3항에서,상기 압력 센서부는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재를 감싸는 바디부를 더 포함하고, 상기 바디부에는 상기 제1 부재를 향하는 볼록 공간이 형성되며, 상기 볼록 공간은 상기 채널과 연통된 통합형 안구 센서
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제4항에서,상기 바디부와 상기 체액 튜브는 일체로 형성된 통합형 안구 센서
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제2항에서,상기 배수 밸브부는,상기 채널의 내면에 형성되는 하나 이상의 돌출부를 포함하고,상기 배수 밸브부에 상기 체액의 압력이 인가되는 경우, 상기 돌출부와 상기 내면이 이격되어 상기 체액이 상기 배수 밸브부를 통과하도록 적용된 통합형 안구 센서
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제6항에서,상기 하나 이상의 돌출부는,상기 채널의 일면에 형성된 제1 돌출부, 및 상기 제1 돌출부와 이격되고, 상기 일면과 대향하는 상기 채널의 타면에 형성된 제2 돌출부를 포함하고, 상기 배수 밸브부에 상기 체액의 압력이 인가되는 경우, 상기 제1 돌출부와 상기 일면이 이격되고, 상기 제2 돌출부와 상기 타면이 이격되어 상기 체액이 상기 배수 밸브부를 통과하도록 적용된 통합형 안구 센서
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제7항에서,상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부의 이격 거리는 상기 제1 돌출부의 길이보다 작은 통합형 안구 센서
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제8항에서,상기 제1 돌출부의 부피와 상기 제2 돌출부의 부피가 실질적으로 동일하고, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 상기 체액 튜브와 일체로 형성된 통합형 안구 센서
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안구 결막 내에 삽입되도록 적용된 통합형 안구 센서의 제어 방법으로서,상기 통합형 안구 센서는,상기 안구에서 생성된 체액을 배수하도록 적용된 배수 밸브부,상기 배수 밸브부와 이격되어 상기 체액의 압력을 측정하도록 적용된 압력 센서부, 및상기 압력 센서부와 전기적으로 연결된 송신부를 포함하고,상기 체액의 흐름 방향에 따라 상기 압력 센서부와 상기 배수 밸브부가 차례로 위치하며,상기 압력 센서부에서 상기 체액의 압력을 측정하는 단계,상기 체액의 압력이 기설정치 이상인 경우, 상기 체액의 압력의 감소 여부를 확인하는 단계, 및상기 압력이 감소하지 않는 경우, 상기 송신부로부터 신호를 수신하여 경고 신호를 표시하는 단계를 포함하는 통합형 안구 센서의 제어 방법
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안구 결막 내에 삽입되도록 적용된 통합형 안구 센서의 제조 방법으로서,기판을 제공하는 단계,상기 기판 위에 금속을 포함하는 희생층을 제공하는 단계,상기 희생층 위에 제1 폴리이미드를 제공하는 단계,상기 제1 폴리이미드 위에 제1 도전층을 증착하는 단계,상기 제1 도전층 위에 제2 폴리이미드를 제공하는 단계,상기 제2 폴리이미드를 노광 및 현상하여 상기 제2 폴리이미드에 제1 개구부를 형성하는 단계,전기 도금에 의해 상기 제2 폴리이미드 위에 상호 이격된 제1 도전체 및 제2 도전체를 제공하고, 상기 제1 도전체가 상기 제1 도전층과 연결되는 단계,상기 제1 도전체 및 제2 도전체 위에 제3 폴리이미드를 제공하고, 상기 제3 폴리이미드를 노광 및 현상하여 상기 제1 도전체를 외부로 노출시키고, 상기 제2 도전체의 상면에 제2 개구부를 형성하는 단계,상기 제3 폴리이미드 위에 상기 제1 도전체와 연결되는 제2 도전층을 증착하는 단계, 및상기 제2 개구부를 통하여 상기 제2 도전체를 식각해 상기 제2 폴리이미드와 상기 제3 폴리이미드 사이에 중공을 형성하는 단계를 포함하는 통합형 안구 센서의 제조 방법
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제11항에서,상기 제2 도전층 위에 제4 폴리이미드를 제공하는 단계, 및상기 기판과 상기 희생층을 상기 제1 폴리이미드와 분리시켜서 압력 센서부를 제공하는 단계를 더 포함하는 통합형 안구 센서의 제조 방법
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제11항에서,상기 제2 도전층을 증착하는 단계에서, 상기 제2 개구부를 마스킹한 후 상기 제2 도전층을 상기 제3 폴리이미드 위에 증착하는 통합형 안구 센서의 제조 방법
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제11항에서,상기 제1 도전체 및 제2 도전체를 제공하는 단계에서, 상기 제2 도전체의 폭은 상기 제1 도전층의 폭보다 큰 통합형 안구 센서의 제조 방법
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