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이온플레이팅장치및그방법

  • 기술번호 : KST2015123573
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL C23C 14/48 (2006.01)
CPC C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01)
출원번호/일자 1019850001086 (1985.02.21)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1986-0006567 (1986.09.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박봉석 대한민국 서울시강서구
2 이찬용 대한민국 서울시양천구
3 권영세 대한민국 서울시중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성택 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)
2 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1985.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1985-0006386-08
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1985.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1985-0006388-99
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1985.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1985-0006387-43
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1987.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1985-0003946-34
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1987.12.30 수리 (Accepted) 1-1-1985-0006389-34
6 지정기간연장승인서
Acceptance of Extension of Designated Period
1987.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1985-0003947-80
7 거절사정서
Decision to Refuse a Patent
1988.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1985-0003948-25
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1

이온 플레이팅 장치에 있어서, 진공 탱크(1)의 내부 및 주변에 온도 감지기(3) 및 온도 지시기(5)로 구성된 온도 감지부[P]와, 가스 주입밸브(6), 가스 압력 조절기(7) 및 가스 압력 조절밸브(8)로 구성된 압력 조절부[Q]와, 공지의 질화붕소 보트(PBN boat) 또는 인터메탈릭 보트(intermetallic boat)(13), 보트지지대(16) 및 냉각관(16a)로 구성된 금속 증발부[R]의 3개 부분을 포함하고, 상기 보트(13)의 양단은 보트 지지대(16) 위에서 흑연지(17) 및 흑연판(18) 사이에 접속하여 고정 스프링(20)으로 고정시킨 것을 특징으로 하는 이온 플레이팅 장치

제1항에 있어서, 압력 조절기(7)이 피라니 게이지(10)에 의하여 조절되는 것이 특징인 이온 플레이팅 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.