| 1 |
1
진공 플라즈마 챔버 또는 그 내부 부품으로 사용되는 소재를 모재로 하고, 상기 모재 표면에 열용사에 의하여 형성된 금속분말과 세라믹 분말 혼합 코팅층을 포함하여 구성되는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 혼합 코팅층은 모재 측에 가까울 수록 금속 함량이 많고 모재와 멀어질 수록 세라믹의 함량이 많게 경사코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 혼합 코팅층은 모재 측으로는 금속 함량이 100%, 모재와 먼쪽으로는 세라믹 함량이 100%가 되도록 연속적인 함량 변화율로 금속과 세라믹이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 모재와 혼합 코팅층 사이에는 금속층이 포함되어 있는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 혼합 코팅층에 추가로 세라믹층이 더 형성되어 있는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 혼합 코팅층의 금속 성분은 상기 모재와 동일한 소재이거나, 또는 Al, Ni, Cr, Fe, Cu, Zr, Mo, W 및 그 합금 중에서 선택되는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 혼합 코팅층의 세라믹 성분은 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BxCy, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3 또는 이들의 혼합체 중에서 선택되는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막
|
| 8 |
8
진공 플라즈마 챔버 또는 그 내부 부품으로 사용되는 소재를 코팅 대상인 모재로 하고, 플라즈마 건에 금속 분말 및 세라믹 분말을 주입하여 상기 모재 표면에 열용사에 의하여 금속과 세라믹의 혼합 코팅층을 형성하는 것을 포함하여 구성되는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 혼합 코팅층은 금속과 세라믹의 각 함량이 점진적으로 변하도록 경사 코팅으로 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서, 상기 모재가 대면적인 경우, 둘 이상의 부분으로 나누어 각각에 혼합 코팅층을 형성한 후, 각 부분을 결합하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 상기 각 부분은 코팅층 형성 후 체결이 용이하도록 결합부에 단차, 홈, key hole을 구비하거나 이음매 부분에 제3의 보호물을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
| 12 |
12
제8항에 있어서, 상기 금속 분말과 세라믹 분말은 플라즈마 건의 불꽃부에 주입될 때, 세라믹 분말이 고온부에 금속 분말은 저온부에 주입되도록 각각의 주입 위치를 달리하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
| 13 |
13
제8항에 있어서, 코팅막 형성 후, 코팅막 내부의 기공을 불화금속염, 유기산염, Si, SiO2, 폴리머 등의 이종 물질로 충진하는 단계를 추가로 포함하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
| 14 |
13
제8항에 있어서, 코팅막 형성 후, 코팅막 내부의 기공을 불화금속염, 유기산염, Si, SiO2, 폴리머 등의 이종 물질로 충진하는 단계를 추가로 포함하는 진공 플라즈마 챔버용 열용사 코팅막 제조방법
|
