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초저속 경사 회전 노광장치

  • 기술번호 : KST2015123757
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초저속 경사 회전 노광장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 미소기전소자(MEMS) 기술을 이용하여 3차원의 미소 구조체를 제조 가능케 하는 초저속 경사 회전 노광장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 노광장치에 구동 전원을 공급하기 위한 전원공급장치와; 평행광 램프를 냉각시키기 위한 램프냉각장치와; 내부에 구비된 각각의 반사 미러를 통해 평행광의 출력을 얻기 위한 노광장치의 경통과; 상기 노광장치의 경통을 통해 출력된 평행광을 이용하여 초저속 회전에 의해 경사된 상태에서 노광 공정을 진행하는 척과; 상기 척을 초저속으로 회전 구동을 위한 모터와; 상기 척의 진공 상태를 유지하기 위한 진공장치와; 상기 척의 초저속 회전 상태의 범위를 제어하기 위한 컴퓨터장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 초저속 경사 회전 노광장치가 제시된다.따라서, 본 발명에 따르면 지금까지의 MEMS 공정으로 제조하기가 어려운 혼 모양 3차원 미소구조 안테나 어레이제조에 적용 될 수 있다. 또한, 종횡비가 높은 경사도를 갖는 MEMS 소자를 제작할 때 마스크와 웨이퍼가 일체된 척의 경사도, 회전수, 회전시간을 조정할 수 있어 MEMS 소자의 제작에 응용 방법을 제공할 수 있다.MEMS, 초저속 경사회전 노광장치, 혼모양 3차원 미소구조 안테나
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01)
출원번호/일자 1020010035359 (2001.06.21)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0097425 (2002.12.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.06.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 경기도 남양주시 도농로 **,
2 박종연 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2001-0149459-63
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2002.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5061206-62
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.03.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.04.21 수리 (Accepted) 9-1-2003-0016496-90
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0125920-10
7 의견서
Written Opinion		 2004.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0232689-97
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.05.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2004-0232690-33
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0504665-06
10 의견서
Written Opinion		 2005.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0053505-41
11 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.01.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0053506-97
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0284201-75
13 의견서
Written Opinion		 2005.08.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0454120-16
14 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.08.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2005-0454204-53
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0457976-32
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

노광장치에 구동 전원을 공급하기 위한 전원공급장치와;

평행광 램프를 냉각시키기 위한 램프냉각장치와;

내부에 구비된 각각의 반사 미러를 통해 평행광의 출력을 얻기 위한 노광장치의 경통과;

상기 노광장치의 경통을 통해 출력된 평행광을 이용하여 초저속 회전에 의해 경사된 상태에서 노광 공정을 진행하는 척과;

상기 척을 초저속으로 회전 구동을 위한 모터와;

상기 척의 진공 상태를 유지하기 위한 진공장치와;

상기 척의 초저속 회전 상태의 범위를 제어하기 위한 컴퓨터장치를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 초저속 경사 회전 노광장치

2 2

청구항 1에 있어서, 상기 척의 본체에는 웨이퍼 상부에 마스크가 일체로 형성된 경사진 상태에서 노광 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 초저속 경사 회전 노광장치

3 3

청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 마스크와 웨이퍼가 일체된 형태의 척이 경사된 상태에서 동시에 척 자체가 초저속으로 회전할 때 노광 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 초저속 경사 회전 노광장치

4 4

청구항 1에 있어서, 상기 노광장치의 초저속 회전 상태에서 상기 척의 경사도와, 회전수, 회전시간을 제어하는 것을 특징으로 하는 초저속 경사 회전 노광장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.