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이온투과막이 함침된 마이크로 포어(micorpore)를 포함하는 선택적 이온 투과층;상기 선택적 이온 투과층의 상부에 형성되고, 상기 선택적 이온 투과층의 상기 마이크로 포어와 접하는 일면에 상부 레저버(reservoir)가 형성되는 상부 PDMS(polydimethylsiloxane)층; 및상기 선택적 이온 투과층의 하부에 형성되고, 상기 선택적 이온 투과층의 상기 마이크로 포어와 접하는 일면에 하부 레저버가 형성되는 하부 PDMS층을 포함하며, 상기 상부 레저버 및 하부 레저버에는 외부 전원과 연결할 수 있는 와이어 혹은 반도체 공정을 이용한 박막전극이 각각 구비되고, 상기 상부 레저버 및 하부 레저버는 단백질 시료를 수용하며, 상기 와이어를 통해서 상기 상부 레저버 및 하부 레저버에 각각 음전극과 양전극이 연결되어 상기 선택적 이온 투과층 양단에 전위차가 발생되며,상기 상부 레저버 및 하부 레저버에 수용된 단백질 시료 중 획득하고자 하는 소정 단백질 입자들이 전위차가 형성된 상기 선택적 이온 투과층을 통과하면서 상기 마이크로 포어 외부의 인접한 특정 영역에 농축되고, 상기 마이크로 포어 외부의 인접한 특정 영역에 전기적센서, 전기기계적 센서, 또는 광학적 센서를 위치시킴으로써 상기 특정 영역에 농축된 단백질을 상기 센서를 통해서 고감도로 감지하는 마이크로 포어 소자
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제1항에 있어서,상기 마이크로 포어에 함침된 이온투과막은 선택적 이온 투과가 가능한 물질인 나피온(nafion)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자
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제1항에 있어서,상기 마이크로 포어는 상부 개구면이 하부 개구면보다 큰 콘(cone) 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자
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제3항에 있어서,상기 마이크로 포어의 상부 개구면의 직경은 50μm 내지 1000μm이며, 하부 개구면의 직경은 10μm 내지 500μm 인 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자
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제1항에 있어서,상기 마이크로 포어가 형성되는 선택적 이온 투과층은 글래스 기판, 플라스틱 기판 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자
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제1항에 있어서,상기 이온투과막은 선택적 이온 투과가 가능한 물질을 상기 마이크로 포어에 함침하고 소정 온도에서 가열함으로써 상기 이온투과막이 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자
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제9항에 있어서,상기 소정 온도는 80℃ 내지 100℃ 인 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자
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글래스 기판에 콘(Cone) 모양의 마이크로 포어(pore)를 형성하는 단계;상기 마이크로 포어에 선택적 이온 투과가 가능한 물질을 함침하는 단계;상기 마이크로 포어에 함침된 선택적 이온 투과 물질을 가열하여 선택적 이온 투과층을 형성하는 단계;상기 마이크로 포어와 접하는 상부면에 상부 레저버(reservoir)가 형성되는 상부 PDMS(polydimethylsiloxane)층을 형성하는 단계; 및상기 마이크로 포어와 접하는 하부면에 하부 레저버가 형성되는 하부 PDMS층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 상부 레저버 및 하부 레저버에는 외부 전원과 연결할 수 있는 와이어 혹은 반도체 공정을 이용한 박막전극이 각각 구비되고, 상기 상부 레저버 및 하부 레저버는 단백질 시료를 수용하며, 상기 와이어를 통해서 상기 상부 레저버 및 하부 레저버에 각각 음전극과 양전극이 연결되어 상기 선택적 이온 투과층 양단에 전위차가 발생되며,상기 상부 레저버 및 하부 레저버에 수용된 단백질 시료 중 획득하고자 하는 소정 단백질 입자들이 전위차가 형성된 상기 선택적 이온 투과층을 통과하면서 상기 마이크로 포어 외부의 인접한 특정 영역에 농축되고, 상기 마이크로 포어 외부의 인접한 특정 영역에 위치된 전기적센서, 전기기계적 센서, 또는 광학적 센서를 통해서 상기 특정 영역에 농축된 단백질이 고감도로 감지되는 마이크로 포어 소자 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 마이크로 포어에 함침된 선택적 이온 투과 물질은 나피온(nafion)인 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 마이크로 포어는 상부 개구면이 하부 개구면보다 큰 콘(cone) 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로 포어 소자 제조 방법
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