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극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사하는 광원부;상기 광원부로부터 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 오목거울;상기 오목거울에 의해 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 반사하는 반사거울;상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지;상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 이동수단;상기 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득할 수 있도록 상기 스테이지의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 축을 기준으로 일정각도 좌/우측 방향으로 틸팅(tilting)시키기 위한 틸팅수단;상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라;상기 CCD 카메라의 입사 렌즈부에 장착되며, 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 링 형태의 광 필터부; 및상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원함과 아울러 상기 이동수단 및 상기 틸팅수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하는 제어장치를 포함하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템
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제2 항에 있어서,상기 측정대상 마스크의 3차원 이미지를 획득하고자 하는 위치가 존재할 경우, 상기 제어장치는 구동제어신호를 상기 틸팅수단에 출력하여 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키고, 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(Point Cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한 3차원 높이 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템
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극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사하는 광원부;상기 광원부로부터 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 오목거울;상기 오목거울에 의해 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 반사하는 반사거울;상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지;상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 이동수단;상기 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득할 수 있도록 상기 스테이지의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 축을 기준으로 일정각도 좌/우측 방향으로 틸팅(tilting)시키기 위한 틸팅수단;상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라; 및상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원함과 아울러 상기 이동수단 및 상기 틸팅수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하는 제어장치를 포함하되,상기 틸팅수단은, 복수의 피에조(Piezo) 봉을 이용하여 상기 스테이지를 좌/우측 방향으로 일정각도 틸팅하기 위한 수단으로서,상기 이동수단이 상기 스테이지의 하부측에 설치된 상태에서 상기 이동수단의 저면에 고정설치되는 제1 지지판;상기 제1 지지판의 하측방향으로 일정거리 이격되어 배치되는 제2 지지판; 및상기 제1 및 제2 지지판 사이의 양 끝단에 대칭되도록 구비된 적어도 한 쌍의 제1 및 제2 피에조 봉으로 이루어지며, 상기 제어장치로부터 출력된 구동제어신호에 의해 상기 제1 및 제2 피에조 봉의 높이가 서로 다르게 조절되어 상기 제1 지지판을 비롯하여 상기 이동수단 및 상기 스테이지가 좌/우측 방향으로 일정각도 기울어지는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템
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극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사하는 광원부;상기 광원부로부터 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 오목거울;상기 오목거울에 의해 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 반사하는 반사거울;상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지;상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 이동수단;상기 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득할 수 있도록 상기 스테이지의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 축을 기준으로 일정각도 좌/우측 방향으로 틸팅(tilting)시키기 위한 틸팅수단;상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라; 및상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원함과 아울러 상기 이동수단 및 상기 틸팅수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하는 제어장치를 포함하되,상기 측정대상 마스크의 3차원 이미지를 획득하고자 하는 위치가 존재할 경우, 상기 제어장치는 구동제어신호를 상기 틸팅수단에 출력하여 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키고, 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(Point Cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한 3차원 높이 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템
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제4 항 또는 제5 항에 있어서,상기 CCD 카메라의 입사 렌즈부에 장착되며, 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 링 형태의 광 필터부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템
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광원부, 오목거울, 반사거울, X축, Y축 및 Z축 이동가능함과 아울러 좌/우측 방향으로 일정각도 틸팅가능한 스테이지에 안착된 측정대상 마스크, CCD(Charged Coupled Device) 카메라 및 제어장치를 포함하는 마스크 패턴 검사용 시스템을 이용하여 3차원 영상을 획득하는 방법에 있어서,(a) 상기 광원부에 의해 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사한 후, 상기 방사된 극자외선을 상기 오목거울에 의해 반사하여 집광하는 단계;(b) 상기 단계(a)에서 집광된 극자외선을 상기 측정대상 마스크를 향하여 반사하는 단계;(c) 상기 CCD 카메라를 통하여 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 단계;(d) 상기 제어장치를 통하여 상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원하는 단계;(e) 상기 측정대상 마스크의 3차원 이미지를 획득하고자 하는 위치가 존재할 경우, 상기 제어장치를 통하여 별도로 구비된 틸팅수단에 의해 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키는 단계; 및(f) 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(Point Cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한 3차원 높이 정보를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 방법
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제7 항에 있어서,상기 단계(c)에서, 상기 CCD 카메라의 입사 렌즈부에 장착된 광 필터부를 통해 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 방법
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