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기판; 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되어 배열되는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 배치되는 플렉시블 센서 레이어; 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착되며, 나노 크기의 주름을 갖는 나노 구조물; 및 3차원 방향에 따른 압력 감지의 극대화를 위해 상기 나노 구조물의 표면에 접착되는 돔 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은, 선형의 1차원 선형 구조물, 지그재그 형태의 2차원 구조물 또는 나선형의 구조물인 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 돔 구조물은 PDMS, PMMA, SU8, 파릴린 또는 탄성 폴리머로 이루어진 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 플렉시블 센서 레이어는, 박막 PVDF 또는 루브렌 크리스탈인 것을 특징으로 하는 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은 폴리머 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 압력 센서
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기판 상에 소스 전극과 드레인 전극을 배열하는 단계;상기 소스 전극과 드레인 전극 상에 플렉시블 센서 레이어를 배치하는 단계; 박막의 폴리머 재료에 나노 크기의 주름을 형성하여 나노 구조물을 제조하는 단계; 상기 주름이 형성된 나노 구조물을 상기 플렉시블 센서 레이어의 표면에 접착하는 단계; 및 나노 크기의 돔 구조물을 성형한 후, 상기 주름이 형성된 나노 구조물의 표면에 접착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구조물을 제조하는 단계는, 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계는, 박막에 인장력을 가하면서, 마스크를 적용하고 UV 오존 또는 O2 플라즈마를 적용하여 마스크에 의해 선택적으로 노출된 표면을 개질시키고, 개질된 표면과 개질되지 않은 표면 사이의 국부적인 응력 차이로 인해 주름을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 선형의 1차원 구조물을 형성하는 단계는, 상대적으로 두께가 다른 영역들을 갖는 박막 상에 인장력과 UVO 처리를 통해 상대적으로 두께가 얇은 영역에 주름을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구조물을 제조하는 단계는, 지그재그 형태의 2차원 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 지그재그 형태의 2차원 구조물을 형성하는 단계는, 폴리머 재료의 박막의 표면에 인위적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구조물을 제조하는 단계는, 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제13항에 있어서, 상기 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계는, 박막의 양단에 인장응력을 가한 후, 주름이 생성될 영역을 제외한 나머지 부분을 PET 필름 또는 포토레지스트로 마스킹하고, UVO를 이용해 표면 개질을 행한 후, 상기 박막에 가해지던 인장응력을 제거함으로써 주름을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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제13항에 있어서, 상기 나선 형태의 구조물을 형성하는 단계는, PET 필름 또는 포토레지스트로 박막을 마스킹하고, 박막 표면에 인위적으로 인장응력을 갖는 나노 선폭의 금속박막(metal thin film) 또는 금속 산화물(metal oxide) 박막을 증착한 후, 인위적으로 다시 금속박막 또는 금속 산화물 박막을 제거함으로써 국부적 응력을 발생시켜서 주름을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서의 제조 방법
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