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열적 안정성이 우수한 경질 다층 박막

  • 기술번호 : KST2015124089
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열적 안정성이 우수한 경질 다층 박막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 TiAlN 막층과 BN 막층으로 이루어진 박막 단위체가 하나 이상 적층된 다층구조를 이루고 있으며, TiAlN 막층과 BN 막층 각각의 두께 조절과 더불어 박막 단위체의 두께 조절에 의해 고온에서의 열적 안정성을 도모하여 상온 내지 900℃의 고온 조건에서도 고 경도화에 의한 내마모성을 향상시키므로, 절삭공구 및 미세 정밀부품의 표면 피복용 재료로 사용되어서는 표면강도를 향상시키는 효과가 기대되는 경질 다층 박막에 관한 것이다.경질 다층 박막, TiAlN, BN, 금속질화물, 경도, 열 안정성
Int. CL C23C 28/00 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01) C23C 28/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070051602 (2007.05.28)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0889372-0000 (2009.03.11)
공개번호/일자 10-2008-0104607 (2008.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20090319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종극 대한민국 서울 서초구
2 백영준 대한민국 서울 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영우 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)(한라특허법인(유한))
2 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
3 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0389373-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0022241-34
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0452221-33
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0752636-89
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0752639-15
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0752634-98
8 등록결정서
Decision to grant		 2009.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0082931-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
1 내지 10 nm 두께의 TiAlN 막층과, 0
2 2
제 1 항에 있어서, 1 내지 4 nm 두께의 TiAlN 막층과, 0
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 TiAlN 막층은 티타늄(Ti)과 알루미늄(Al)의 원자수 비율이 60:40 내지 40:60인 것을 특징으로 하는 열적 안정성이 우수한 경질 다층 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.