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주입기체를 회수기체와 투과기체로 분리하는 기체 분리막모듈; 상기 기체 분리막모듈의 투과기체 유량 및 회수기체 유량을 제어하는 SC(Stage-cut) 조절기; 상기 SC 조절기의 SC값 및 SC값 유지시간을 제어하는 SC 제어수단; 및 상기 기체 분리막모듈에서 분리된 회수기체를 저장하는 회수기체 저장탱크를 포함하여 이루어지며, 상기 기체 분리막모듈은 회수기체를 농축하는 003c#농축과정003e#과 농축된 회수기체를 회수하는 003c#회수과정003e#으로 동작되며, 상기 003c#농축과정003e#에서 SC값은 1로 설정되고, 상기 003c#회수과정003e#에서 SC값은 0〈SC〈1로 설정되며, 상기 SC값은 주입기체 유량 대비 투과기체 유량의 비인 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 003c#회수과정003e#의 SC값 유지시간은 003c#농축과정003e#의 SC값 유지시간보다 짧은 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 003c#농축과정003e#의 SC값 유지시간(TC)은 아래의 식-1을 만족하며, 식-1의 k는 아래의 식-2를 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 003c#회수과정003e#의 SC값 유지시간(TR)은 아래의 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 003c#회수과정003e#의 SC값 유지시간(TR)은 아래의 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기체 분리막모듈에 주입되는 주입기체는 고투과성 기체와 저투과성 기체의 혼합기체이며, 상기 고투과성 기체는 기체 분리막모듈의 기공을 투과하는 투과도가 상기 저투과성 기체보다 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 저투과성 기체는 SF6, NF3, CF4 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 기체 분리막모듈에 주입되는 주입기체는 상기 회수기체 저장탱크에 저장되어 있는 회수기체인 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 회수기체 저장탱크와 기체 분리막모듈 사이에 가압펌프가 더 구비되며, 상기 가압펌프는 회수기체 저장탱크와 기체 분리막모듈 사이의 압력차를 통해 회수기체의 회수 속도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 장치
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기체 분리막모듈에 주입기체를 주입하여 주입기체 내에 포함되어 있는 회수기체를 기체 분리막모듈 내부에 농축시키는 003c#농축과정003e#; 및 상기 003c#농축과정003e#을 통해 기체 분리막모듈 내부에 농축된 회수기체를 회수기체 저장탱크로 회수하는 003c#회수과정003e#을 포함하여 이루어지며, 상기 003c#농축과정003e#에서 SC값은 1로 설정되고, 상기 003c#회수과정003e#에서 SC값은 0〈SC〈1로 설정되며, 상기 SC값은 주입기체 유량 대비 투과기체 유량의 비인 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 003c#회수과정003e#의 SC값 유지시간은 003c#농축과정003e#의 SC값 유지시간보다 짧은 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 003c#농축과정003e#의 SC값 유지시간(TC)은 아래의 식-1을 만족하며, 식-1의 k는 아래의 식-2를 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 003c#회수과정003e#의 SC값 유지시간(TR)은 아래의 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 003c#회수과정003e#의 SC값 유지시간(TR)은 아래의 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 기체 분리막모듈에 주입되는 주입기체는 고투과성 기체와 저투과성 기체의 혼합기체이며, 상기 고투과성 기체는 기체 분리막모듈의 기공을 투과하는 투과도가 상기 저투과성 기체보다 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 15 항에 있어서, 상기 저투과성 기체는 SF6, NF3, CF4 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 기체 분리막모듈에 주입되는 주입기체는 상기 회수기체 저장탱크에 저장되어 있는 회수기체이며, 003c#농축과정003e#을 통해 상기 기체 분리막모듈 내부에 농축되는 회수기체 농도의 최대값은 003c#CB×Aair/B / ( CB×(Aair/B-1)+1)003e#(CB는 회수기체의 농도, Aair/B는 투과기체의 투과도/회수기체의 투과도)를 초과하는 것을 특징으로 하는 기체 분리막모듈을 이용한 회수기체 농축회수 방법
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