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금속 알콕사이드의 알콕사이드 리간드를 베타 디케톤으로 치환시켜 전구체를 얻고, 이 전구체를 용매 및 산의 존재하에 가수분해 및 중합 반응시켜 입자 크기가 작은 졸을 얻고, 이 졸을 겔화하여 소결하는 것을 특징으로 하는 미세 기공을 갖는 세라믹막의 제조방법
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제1항에 있어서, 금속 알콕사이드가 알루미늄족 금속 알콕사이드 및 전이 금속 알콕사이드 중에서 선택되는 것인 방법
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제2항에 있어서, 금속 알콕사이드가 알루미늄 알콕사이드 또는 티타늄 알콕 사이드인 것인 방법
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제1항에 있어서, 베타 디케톤이 알킬의 탄소수가 1 내지 6인 알킬 아세토아세테이트 또는 탄소수가 6이상인 2,4-알칸디온 및 3,5-알칸디온 중에서 선택되는 것인 방법
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제1항에 있어서, 용매는 이소프로판올, n-프로판올 및 n-부탄올 중에서 선택되고, 산은 질산인 것인 방법
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제1항 또는 제5항에 있어서, 가수분해 및 중합 반응은 전구체 1몰 당 용매 15 내지 40몰, 질산 0
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제1항에 있어서, 소결은 150∼600℃의 온도에서 수행되는 것인 방법
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제1항에 있어서, 졸의 평균 입자 크기가 레이저 광산란법으로 측정할때 3nm 이하인 것인 방법
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제1항에 있어서, 소결된 세라믹막의 평균 기공 크기가 수은 기공 측정기로 측정할때 4nm 이하인 것인 방법
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