1
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일반식(I), (II), (III) 또는 (IV)의 메틸실라알칸들을 단독으로 또는 두가지 이상 혼합하여 운반기체 존재하에 열분해시키는 것으로 이루어지는 구형의
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제1항에 있어서, 메틸실라알칸 화합물중 일반식(I), (II), (III) 또는 (IV)로 표시되는 화합물 또는 이들의 혼합물의, 운반기체중 농도가 50% 이하인 것인 특징은
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제1항에 있어서, 운반기체로 알곤, 수소 또는 이들의 혼합기체를 사용하는 것이 특징인
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제1항에 있어서, 열분해 반응 온도가 750-1,600℃인 것이 특징인
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제1항에 있어서, 잔류 염화규소가 남아있는 경우에 2차 열처리 과정으로 알곤 대기하에서 1,000-1,200℃로 온도를 올려 잔류 염화규소를 제거하는 것이 특징인
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특허 등록번호
10-0089715-0000
권리란
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표시번호
사항
1
출원 연월일 : 19920728
출원 번호 : 1019920013506
공고 연월일 : 19950710
공고 번호 : 1019950007335
특허결정(심결)연월일 : 19950919
청구범위의 항수 : 5
유별 : C07F 7/2
발명의 명칭 : 트리실라알칸화합물의열분해에의한베타형탄화규소미세분말의제조방법
존속기간(예정)만료일 : 20010711
특허권자란
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순위번호
사항
1
(권리자)
한국과학기술연구원
서울특별시성북구...
등록료란
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제 1 - 3 년분
금 액
144,000 원
1995년 09월 28일
납입
제 4 - 6 년분
금 액
252,000 원
1997년 08월 29일
납입
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번호
서류명
접수/발송일자
처리상태
접수/발송번호
1
특허출원서
1992.07.28
수리 (Accepted)
1-1-1992-0074236-27
2
출원심사청구서
1992.07.28
수리 (Accepted)
1-1-1992-0074238-18
3
대리인선임신고서
1992.07.28
수리 (Accepted)
1-1-1992-0074237-73
4
의견제출통지서
1995.03.30
발송처리완료 (Completion of Transmission)
1-5-1992-0024192-94
5
의견서
1995.04.24
수리 (Accepted)
1-1-1992-0074240-11
6
명세서등보정서
1995.04.24
수리 (Accepted)
1-1-1992-0074239-64
7
출원공고결정서
1995.06.12
발송처리완료 (Completion of Transmission)
1-5-1992-0024193-39
8
등록사정서
1995.09.19
발송처리완료 (Completion of Transmission)
1-5-1992-0024194-85
9
출원인정보변경(경정)신고서
1999.01.08
수리 (Accepted)
4-1-1999-0002352-05
10
출원인정보변경(경정)신고서
1999.01.18
수리 (Accepted)
4-1-1999-0008675-76
11
출원인정보변경(경정)신고서
1999.02.01
수리 (Accepted)
4-1-1999-0025779-69
12
출원인정보변경(경정)신고서
1999.03.03
수리 (Accepted)
4-1-1999-0041039-77
13
출원인정보변경(경정)신고서
1999.05.26
수리 (Accepted)
4-1-1999-0075472-64
14
출원인정보변경(경정)신고서
2000.02.03
수리 (Accepted)
4-1-2000-0014117-45
15
출원인정보변경(경정)신고서
2002.03.02
수리 (Accepted)
4-1-2002-0020822-81
16
출원인정보변경(경정)신고서
2009.12.15
수리 (Accepted)
4-1-2009-5247056-16
17
출원인정보변경(경정)신고서
2014.02.19
수리 (Accepted)
4-1-2014-5022002-69
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