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화학증착법에의한고순도구리박막의제조방법

  • 기술번호 : KST2015124286
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 리간드로서 케토 에스테르류를 갖는 유기 구리 화합물을 화학증착법의 전구체로 사용하여 고순도의 구리 박막을 제조하는 방법을 제공한다.기판에 구리 증착을 위한 전구체로 사용되는 유기 구리 화합물의 리간드로서 베타-케토에스테르류가 단독으로 또는 루이스 염기와 함께 사용되며, 이 전구체는 수소 존재하에 또는 부재하에 화학 증착되어, 증착과정중에 유기 리간드 자체가 열분해되지 않으므로 탄소 오염이 없는 순수한 구리 박막을 제조하는 방법이다. 베타-케토에스테르에는 케톤 알킬기의 탄소수가 1 내지 6이고, 에스테르 알킬기의 탄소수가 1 내지 6인 화합물 또는 이들 알킬기가 메톡시 또는 에톡시로 치환된 화합물이 포함되며, 예로서 메틸아세토아세테이트, 에틸아세토아세테이트, t-부틸아세토아세테이트, 벤질아세토아세테이트, 메톡시에틸아세토아세테이트, 에틸벤조일아세테이트 등이 있다. 또 루이스 염기로는 시클로옥타디엔, 2-부틴, 트리메틸비닐실란, 트리메틸포스핀 등이 포함된다.화학증착 공정중에 구리 박막이 탄소 등에 의해 오염되는 단점을 최소화할 수 있으며, 사용되는 전구체는 250도C 이하의 온도에서도 구리 박막을 증착시킬 수 있다는 장점이 있다.
Int. CL C23C 16/00 (2006.01)
CPC C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01)
출원번호/일자 1019930005061 (1993.03.30)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0092017-0000 (1995.11.23)
공개번호/일자 10-1994-0021755 (1994.10.19) 문서열기
공고번호/일자 1019950009445 (19950822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 발송
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.03.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최형수 대한민국 서울특별시성북구
2 조영상 대한민국 서울특별시성북구
3 임종주 대한민국 서울특별시성북구
4 황순택 대한민국 서울특별시강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 김성택 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.03.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027837-01
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.03.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027835-10
3 특허출원서
Patent Application		 1993.03.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027834-64
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.03.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027836-55
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1993.08.06 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027838-46
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1995.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0010160-06
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1995.04.22 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027839-92
8 의견서
Written Opinion		 1995.05.22 수리 (Accepted) 1-1-1993-0027840-38
9 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1995.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0010161-41
10 등록사정서
Decision to grant		 1995.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0010162-97
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

기판에 구리 증착을 위한 전구체로서 유기 구리 화합물을 사용하는 화학 증착법에 의한 구리 박막의 제조 방법에 있어서 유기 구리 화합물 전구체로서 구리-β-케토에스테르 화합물을 사응하는 것을 특징으로 하는, 증착 과정중에 유기 리간드의 열분해에 의한 탄소 오염이 없는 고순도 구리 박막의 제조 방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 구리-β-케토에스테르 화합물이 구리 (Ⅱ)에 리간드로서 메톡시 또는 에톡시로 치환될 수 있는 탄소수 1 내지 6의 케톤 알킬기와 메톡시 또는 에톡시로 치환될 수 있는 탄소수 1 내지 6의 에스테르 알킬기를 갖는 β-케토에스테르 2개가 배위된 화합물인 방법

3 3

제2항에 있어서

4 4

제1항에 있어서, 상기 구리-β-케토에스테르 화합물이 구리 (I)에 리간드로서 메톡시 또는 에톡시로 치환될 수 있는 탄소수 1 내지 6의 케톤 알킬기와 메톡시 또는 에톡시로 치환될 수 있는 탄소수 1 내지 6의 에스테르 알킬기를 갖는 β-케토에스테르 1개와, 트리메틸비닐실란, 트리메틸포스핀, 2-부틴, 1,5-시클로옥타디엔으로 이루어진 군에서 선택된 루이스 염기(L)가 배위된 화합물인 방법

5 5

제4항에 있어서, 화학 증착 공정이 구리 (I) β-케토에스테르 화합물 단독으로 또는 수소 존재하에 수행되는 것인 방법

6 6

제2항 또는 제4항에 있어서, 상기 β-케토에스테르가 메틸아세토아세테이트(METAC), 에틸아세토아세테이트(ETAC), t-부틸아세토아세테이트(BUTAC), 벤질아세토아세테이트(BENZYAC), 메톡시에틸아세토아세테이트(METHETAC) 및 에틸벤조일아세테이트(ETBENZOAC)로 이루어지는 군중에서 선택된 것인 방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP02588365 JP 일본 FAMILY
2 JP07003459 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2588365 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP7003459 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JPH073459 JP 일본 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.