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열차폐용 원통형 챔버와, 상기 열차폐용 원통형 챔버의 내부에 설치되는 원통형 챔버와; 상기 원통형 챔버 내의 하부측에 설치되는 도가니 및 히터용 필라멘트로 구성되는 도가니부와; 상기 원통형 챔버 내의 상부측에 설치되는 양극 및 이온화용 필라멘트와, 이온화 효율을 향상시키기 위한 자석으로 구성되는 이온화부와; 상기 히터용 필라멘트와 이온화용 필라멘트를 지지하는 상,하부 필라멘트 지지대와; 상기 상, 하부 필라멘트 지지대가 각각 고정되어 상,하부 필라멘트를 착탈가능 하도록 원통형 챔버에 설치하는 상, 하부 플랜지와; 상기 도가니부의 상측으로 열차폐와 전자기 차폐용 원통형 챔버에 연장형성되어 상기 상부 플랜지와 함께 가속전극계를 이루는 접지판으로 구성함을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서 상기 원통형 챔버와 상부 플랜지 사이에는 알류미나 절연체가 개재된 것을 특징으로 하는 박막 증착장치
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제1항에 있어서, 상기 도가니부와 이온화부는 몰리브덴(Mo)판 또는 탄탈륨(Ta)판과 같이 고융점 물질에 의해 구획되어 있어 상호간의 열차폐와 전자기장의 차폐가 효율적으로 이루어지게 된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 원통형 챔버와 외주부에는 이온원이 과열되는 것을 방지하기 위하여 도가니 가열부의 외측으로 수냉관이 설치된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 이온건의 하단부에는 상기 도가니의 온도를 고온계로 측정하기 위한 온도측정용 구멍이 천공된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 가속전극은 안으로 오무라드는 구조로 형성되어 전기장의 형태를 바꿔줌으로써 이온빔의 균일성을 향상시킴을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 상기 자석은 영구자석과 전자석을 사용할 수 있으며, 자기장의 세기는 최대 2000 Gauss이고, 12개가 적층된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 필라멘트 지지대는 몰리브텐(Mo) 또는 탄날륨(Ta)과 같은 고융점 물질을 사용하는 박막 증착장치
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제1항에 있어서, 상기 원통형 챔버를 도가니용 또는 이온화용 필라멘트의 전원과 같은 전위로 연결함으로써 전자와 이온에 의하여 원통형 챔버가 차지 업되는 것을 방지하여 원통형 챔버가 일정한 전위를 유지하게 되어 균일한 이온빔을 얻도록 하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치
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제1항에 있어서, 이온화부의 양극의 길이를 도가니 방향으로 길게 형성하여 이온화 효율을 증대시킴으로써 고전류의 이온전류밀도를 얻도록 함을 특징으로 하는 박막 증착장치
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