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화학 증착 시스템에서 배출되는 미반응 유독가스의 정화 장치및 방법

  • 기술번호 : KST2015124309
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 화학 증착 시스템에서 배출되는 미반응 유독가스의 정화 장치에 있어서, 유기 화합물의 연소를 위한 니크롬선이 내장된 열분해 시스템과, 용해성 가스를 제거할 수 있는 향류 접촉식 물세척 시스템으로 이루어지며, 상기 열분해 시스템과 상기 물세척 시스템은 상호 연결되어 있는, 소형 화학 증착 시스템의 배기가스 처리에 적합한 다단식 배기가스 정화 장치, 및 이러한 장치를 사용한 배기가스 정화 방법이 개시되어 있다. 본 발명에 따라 특별한 구동 장치 없이도 복합 성분으로 이루어진 유기 화합물을 고효율로 처리하는 것이 가능하며, 열분해 시스템의 구성이 극히 간단하여 스위치의 개폐에 의해서도 장치의 작동이 가능하고, 장치가 소형이고 간단하므로 유지비가 저렴하다.
Int. CL B01D 53/34 (2006.01)
CPC B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01) B01D 53/005(2013.01)
출원번호/일자 1019980000641 (1998.01.13)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0238387-0000 (1999.10.13)
공개번호/일자 10-1999-0065376 (1999.08.05) 문서열기
공고번호/일자 (20000115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.01.13)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박달근 대한민국 서울특별시 강남구
2 이중기 대한민국 서울특별시 강남구
3 우주만 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.01.13 수리 (Accepted) 1-1-1998-0002063-22
2 특허출원서
Patent Application		 1998.01.13 수리 (Accepted) 1-1-1998-0002062-87
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.01.13 수리 (Accepted) 1-1-1998-0002064-78
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
9 등록사정서
Decision to grant		 1999.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0303583-60
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

배기가스 유입관 (1), 연소 공기 유입구 (b) 및 니크롬선 가열기 (2)가 구비되어 있고, 배기가스 유입관 (1) 및 니크롬선 가열기 (2)는 배기가스가 배기가스 유입관 (1)을 통해서 열분해 시스템 (4)내로 유입되어 니크롬선 가열기 (2)의 전방에서 분사되도록 위치하는 것을 특징으로 하는, 미반응 유독 배기가스의 연속 열분해 장치 (4)

2 2

제1항에 있어서, 배기가스 유입관 (1)의 말단부에 100 메쉬 정도의 스테인레스스틸 망으로 이루어진 체 (a)가 설치되어 있는 연속 열분해 장치 (4)

3 3

배기가스 유입관 (1), 연소 공기 유입구 (b) 및 니크롬선 가열기 (2)가 구비되어 있고, 배기가스 유입관 (1) 및 니크롬선 가열기 (2)는 배기가스가 배기가스 유입관 (1)을 통해서 열분해 시스템 (4)내로 유입되어 니크롬선 가열기 (2)의 전방에서 분사되도록 위치하는 열분해 시스템 (4), 및

상기 열분해 시스템 (4)으로부터의 연소가스를 도입하기 위한 연소가스 유입관, 가스 분산판 (5), 물 분무 노즐 (6) 및 처리 용수를 배출하기 위한 U자형 배수관 (7)이 구비되어 있고, 가스 분산판 (5)에 의해 분산된 연소가스와 물 분무 노즐 (6)로부터 분무된 물이 향류식으로 접촉하는 것을 특징으로 하는 물세척 시스템 (8)

을 포함하고, 상기 열분해 시스템과 상기 물세척 시스템은 상호 연결되어 있는 미반응 유독 배기가스의 연속 정화 장치

4 4

제3항에 있어서, 열분해 시스템 (4)의 배기가스 유입관 (1)의 말단부에 100 메쉬 정도의 스테인레스스틸 망으로 이루어진 체 (a)가 설치되어 있는 연속 정화 장치

5 5

미반응 유독 배기가스를 제3 또는 4항 기재의, 니크롬선 가열기 (2)가 내장된 열분해 시스템 (4)내로 유입시켜 니크롬선 가열기 (2)의 전방에서 분사되도록 함으로써 배기가스를 니크롬선 가열기 (2)에 의한 직접 가열을 통해 열분해시키는 단계, 및

상기 열분해 시스템 (4)으로부터 배출되는 열분해된 연소가스를 제3 또는 4항 기재의, 가스 분산판 (5) 및 물 분무 노즐 (6)이 내장된 물세척 시스템 (8)으로 유입시켜 가스 분산판 (5)에 의해 분산되도록 하여 분산된 연소가스와 물 분무 노즐 (6)로부터 분무된 물이 향류식으로 접촉하도록 함으로써 잔존하는 용해성 가스를 제거하는 단계를 포함하는,

미반응 유독 배기가스의 연속 정화 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.