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다공성 박막을 포함하는 센서의 제조방법 및 그로부터 제조되는 센서

  • 기술번호 : KST2015124539
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다공성 박막을 포함하는 센서의 제조방법에 관한 것으로서, 두 가지 이상의 원소를 포함하는 박막을 제조한 다음, 특정 원소를 선택적으로 제거함으로써 다공성 구조를 갖는 박막을 형성한 후 이를 센서의 작동전극 또는 작동전극과 보조전극으로 사용하는 센서의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 방법에 의하면 기존의 전해석출법에 의해 제조된 센서에 비해 제조공정이 비교적 간단하고, 다공성 박막의 기공 크기 조절이 용이하며 재현성 있는 감도를 갖는 센서의 제작이 가능하다. 또한, 우수한 성능을 갖는 센서의 대량 생산이 가능한 장점이 있다.본 발명의 방법을 이용하여 혈당 농도를 측정하는 바이오센서 등을 제조할 수 있다.
Int. CL G01N 33/49 (2006.01) G01N 27/31 (2006.01)
CPC G01N 27/31(2013.01) G01N 27/31(2013.01) G01N 27/31(2013.01) G01N 27/31(2013.01) G01N 27/31(2013.01)
출원번호/일자 1020110112252 (2011.10.31)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1337517-0000 (2013.11.29)
공개번호/일자 10-2013-0023010 (2013.03.07) 문서열기
공고번호/일자 (20131205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020110084023   |   2011.08.23
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.31)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상훈 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 변지영 대한민국 서울특별시 용산구
3 하헌필 대한민국 서울특별시 성북구
4 임채선 대한민국 인천광역시 계양구
5 김도형 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정태훈 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
2 진수정 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)
3 배성호 대한민국 경상북도 경산시 박물관로*길**, ***호(사동, 태화타워팰리스)(특허법인 티앤아이(경상북도분사무소))
4 오용수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0854673-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.11.02 수리 (Accepted) 9-1-2012-0082027-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0315536-47
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.07.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0612081-62
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0612080-16
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0822577-67
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
두 가지 이상의 원소를 동시에 증착하여 박막을 형성하는 단계 및상기 박막으로부터 원소를 선택적으로 제거하여 다공성 박막을 제조하는 단계를 포함하며,상기 원소의 선택적 제거방법은 원소에 대해 선택적인 용해성을 갖는 용매를 사용하는 방법 또는 원소에 대해 반응성이 높은 반응기체를 이용하여 건식으로 제거하는 방법인 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
2 2
제1항에서,상기 박막을 형성하는 단계에서는 두 가지 이상의 원소를 스퍼터 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에서,상기 박막은 Si 또는 O 원소 및 Pt, Pd, Au 및 Ag로 이루어지는 그룹에서 선택되는 1종 이상의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
6 6
제1항에서,상기 제거되는 원소는 Si 및 O 원소 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
7 7
제1항에서,상기 다공성 박막은 1 내지 50 nm 크기의 기공을 포함하는 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
8 8
제1항에서,상기 다공성 박막은 1 내지 500 nm의 두께인 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
9 9
제1항에서,상기 다공성 박막은 1 내지 500의 거칠기(roughness factor)를 갖는 것을 특징으로 하는 센서의 제조방법
10 10
제1항 및 제2항, 제5항 내지 제9항 중 어느 한 항의 방법으로부터 제조되는 센서로서, 상기 다공성 박막을 작동전극 또는 보조전극으로 사용하는 2 전극계 또는 3 전극계 센서
11 11
제10항에서,상기 센서는 혈당 농도를 측정하는 바이오센서인 것을 특징으로 하는 센서
12 12
제10항에서,상기 센서는 수소 이온의 농도를 측정하는 환경센서인 것을 특징으로 하는 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.