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미세구조물의 ＦＩＢ(Ｆｏｃｕｓｅｄ ＩｏｎＢｅａｍ)가공시 가공오차 보정데이터의 산출방법,가공오차 보정데이터를 적용한 미세구조물의 ＦＩＢ가공방법 및 ＦＩＢ를 이용한 미세구조물 가공장치

  • 기술번호 : KST2015124737
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세구조물의 집속이온빔(Focused Ion Beam:이하 FIB라 한다) 가공시의 가공오차 보정데이터의 산출방법, 가공오차 보정데이터를 적용한 미세구조물의 FIB 가공방법 및 FIB를 이용한 미세구조물 가공장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, FIB를 이용하여 미세구조물을 가공하고, 재부착에 의해 발생하는 가공오차에 대한 보정데이터를 생성하며, 그 가공오차 보정데이터를 이후의 가공에 적용하여 한번에 효과적으로 목표한 형상을 가공하게 할 수 있는, 미세구조물의 FIB 가공시 가공오차 보정데이터의 산출방법, 가공오차 보정데이터를 적용한 미세구조물의 FIB 가공방법 및 FIB를 이용한 미세구조물 가공장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, FIB 가공 후, 화상처리기법을 이용하여 재부착된 재료형태를 정확히 측정하고, 이에 따른 FIB 수정가공을 행하는 제어 알고리즘을 통하여, 재부착에 의한 가공오차 보정데이터를 산출하고, 이에 따라 향후 대량생산 시에는 상기 보정데이터를 이용한 FIB 가공으로써, 고가의 가스(gas)를 이용할 필요없이, 의도했던 정확한 형상으로 다양한 재료의 미세구조물에 대하여 효율적인 가공을 할 수 있다.집속이온빔, 미세구조물 가공, 가공오차 보정
Int. CL G06Q 50/08 (.)
CPC G06F 19/00(2013.01) G06F 19/00(2013.01) G06F 19/00(2013.01)
출원번호/일자 1020060046074 (2006.05.23)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0787536-0000 (2007.12.13)
공개번호/일자 10-2007-0113352 (2007.11.29) 문서열기
공고번호/일자 (20071221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김경석 대한민국 서울 강북구
2 정재원 대한민국 서울 서대문구
3 민병권 대한민국 서울 성북구
4 이상조 대한민국 경기 고양시 마두*동 백
5 이희원 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 영진빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2006-0359230-13
2 수수료 등의 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee, etc.		 2006.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0078807-82
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0036195-69
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0405908-65
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2007.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0666745-72
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0755461-76
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0755462-11
9 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0652366-45
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
집속이온빔(Focused Ion Beam: 이하 FIB라 한다)을 이용한 미세구조물 가공장치가, 미세구조물의 표면에 특정형상의 홈(이하 포켓이라 한다)을 가공할 때 발생하는, 제거된 재료의 재부착에 의한 가공오차를 보정하는 데이터(이하 가공오차 보정데이터라 한다)를 산출하는 방법에 있어서,(a) 가공오차 누적값을 초기화하는 단계;(b) 상기 미세구조물에 대하여, 상기 의도한 포켓의 깊이(이하 포켓깊이라 한다)만큼 가공할 수 있는 양의 FIB를 조사(irradiate)하는 단계;(c) 가공 전의 재료의 표면(이하 수평면이라 한다)으로부터 상기 포켓 내에재부착된 재료의 표면까지의 깊이(이하 가공깊이라 한다) 및, 상기 포켓깊이에서 상기 가공깊이를 뺀 값(이하 재부착 오차라 한다)을 측정하는 단계;(d) 상기 재부착 오차가 설정된 허용범위 내에 들어왔을 경우는 단계(e)로 진행시키고, 허용범위 내에 들어오지 않았을 경우는 상기 재부착 오차를 상기 가공오차 누적값에 더한 후 단계(b)로부터의 과정을 반복시키는 단계;(e) 상기 미세구조물에 대한 상기 가공오차 누적값에 상기 포켓깊이를 더한 값을 가공오차 보정데이터로서 데이터베이스에 저장하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구조물의 FIB 가공시 가공오차 보정데이터의 산출방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 단계 (c)는,(c1) 포켓의 절삭단면 보호용 물질을 포켓에 채우는 단계;(c2) 포켓의 재부착 오차를 측정하기 위한 단면을 절삭하는 단계;(c3) 포켓의 재부착 오차를 측정하는 단계;로 구성된 것을 특징으로 하는 미세구조물의 FIB 가공시 가공오차 보정데이터의 산출방법
3 3
청구항 2에 있어서,상기 단계(c3)에서 포켓의 재부착 오차의 측정은,(c31) 단면의 이미지를 촬영하는 단계;(c32) 상기 촬영된 단면의 이미지에 대하여 이미지 프로세싱 프로그램 수행에 의하여 상기 가공깊이를 검출하는 단계;(c33) 상기 포켓깊이에서 상기 가공깊이를 뺀 값을 상기 포켓의 재부착 오차로 판단하는 단계;로 구성된 것을 특징으로 하는 미세구조물의 FIB 가공시 가공오차 보정데이터의 산출방법
4 4
FIB를 이용한 미세구조물 가공장치가 청구항 1의 단계(e)에서 산출한 가공오차 보정데이터를 적용하여 미세구조물에 포켓을 가공하는 방법에 있어서,(a) 사용자가 가공하려는 미세구조물 및 포켓의 정보를 입력하면, 이를 수신하는 단계;(b) 상기 포켓의 가공에 있어서 기 측정된 가공오차 보정데이터를 데이터베이스로부터 읽어오는 단계;(c) 상기 미세구조물에 대하여, 상기 가공오차 보정데이터에 해당하는 깊이를 가공할 수 있는 양의 FIB를 조사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가공오차 보정데이터를 적용한 미세구조물의 FIB 가공방법
5 5
청구항 4에 있어서,상기 단계(c) 이후에,(d) 의도한 포켓깊이에서 실제 가공된 깊이를 뺀 값(이하 재부착 오차라 한다)을 측정하여, 상기 재부착 오차가 설정된 허용범위 내에 들어오지 않았을 경우는 이를 모니터에 표시하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가공오차 보정데이터를 적용한 미세구조물의 FIB 가공방법
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