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오염되지 않은 깨끗한 공기를 공급하여 주는 청정공기 발생 시스템(410);상기 청정공기 발생 시스템(410)으로 부터의 공기의 유량을 제어해주는 유체흐름제어기(Mass Flow Controller; MFC)(420);상기 유체흐름제어기(420)를 통해 들어온 공기를 이용하여, 용기 내에 액상으로 녹아 있는 병원성 미생물을 에어로솔화 하여 분무하는 분무기(430);상기 분무기(430)에서 분무되는 에어로솔의 유량을 제어하는 피치 크램프(440);상기 분무기(430)으로 부터 분무되어 입력된 병원성 미생물을 생장시키는 잉큐베이터(450);상기 잉큐베이터(450)에서 자라난 병원성 미생물로부터 전기적 신호를 검출하는 미생물 임피던스 측정 센서(10);상기 미생물 임피던스 측정 센서(10)로부터 측정된 전기적 신호로부터 병원성 미생물에 따른 임피던스의 변화값을 측정하는 임피던스 분석기(470);를 구비하는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제1항에 있어서,상기 분무기의 에어로솔의 분주는 1-jet 분무기를 이용하여 약 20lpm의 유량으로 샘플을 분주하는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 잉큐베이터는 약 70%의 습도와 약 37℃에 온도를 유지하는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제1항에 있어서,상기 미생물 임피던스 측정 센서(10)는 전극부(100), 아가 웰(105), 실리콘 웨이퍼(110)으로 이루어지며,상기 전극부는 2개의 전극으로 이루어지고,상기 전극들은 그 일측이 아가 웰(105)의 측면의 일부에 접촉되고, 다른 일측은 상기 임피던스 분석기(470)에 연결되기 위한 접촉부를 구비하는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제4항에 있어서,상기 전극은 구리로 이루어진 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제4항에 있어서,상기 전극은 실리콘 웨이퍼(110)의 상단에 티타늄층(120)이 위치하고 그 위에 구리층(130)이 위치되는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제4항에 있어서,상기 아가 웰(105)은 병원성 미생물의 생장을 위한 Media(배지)의 분주를 위한 것으로 폴리머(Polymer)의 일종인 Su-8을 이용하여 외벽을 갖도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제7항에 있어서,상기 아가 웰(105)의 양측의 일부는 전극부(100)와 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제7항에 있어서,상기 아가 웰(105)의 외벽은 실리콘 웨이퍼(110) 상에서 구리층(130) 보다도 높은 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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제1항에 있어서,상기 미생물 임피던스 측정 센서(10)는 병원성 미생물로부터 전기적 신호로서 교류성 저항신호를 검출하는 것을 특징으로 하는 병원성 미생물의 유무 및 농도를 측정하는 측정장치
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전극부(100), 아가 웰(105), 실리콘 웨이퍼(110)로 이루어지며 미생물로부터 전기적 신호를 검출하는 미생물 임피던스 측정 센서에 있어서,상기 전극부는 2개의 전극으로 이루어지고,상기 전극들은 그 일측이 아가 웰(105)의 측면의 일부에 접촉되고, 다른 일측은 상기 임피던스 분석기(470)에 연결되기 위한 접촉부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미생물 임피던스 측정 센서
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제11항에 있어서,상기 전극은 구리로 이루어진 것을 특징으로 하는 미생물 임피던스 측정 센서
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제11항에 있어서,상기 아가 웰(105)은 Su-8을 이용하여 외벽을 갖도록 형성되어 있으며, 아가 웰(105)의 양측의 일부는 전극부(100)와 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 미생물 임피던스 측정 센서
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제11항에 있어서,상기 전극들은 상기 접촉부를 제외한 부분에서의 폭이 약 1mm이고, 상기 접촉부의 크기는 약 1cm X 1cm인 것을 특징으로 하는 미생물 임피던스 측정 센서
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제13항에 있어서,상기 아가웰(Agar well)의 크기(가로 X 세로 X 높이)는 2
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미생물로부터 전기적 신호를 검출하는 미생물 임피던스 측정 센서의 제작방법에 있어서,웨이퍼상에 티타늄 및 구리를 증착하는 제1단계; 상기 제1단계에서 티타늄 및 구리가 증착된 웨이퍼의 제일 상단(즉 구리층(130)의 상단)을 PR(포토레지스트)로 코팅하는 제2단계;상기 제2단계에서 PR코팅된 웨이퍼상에 전극부의 금속패턴을 형성시키는 제3단계;상기 제3단계에서 금속패턴이 형성된 웨이퍼를 에칭하는 제4단계;상기 제4단계에서 에칭된 웨이퍼를 Su-8로 코팅하는 제5단계;상기 제5단계에서 Su-8로 코팅된 웨이퍼상에 아가 웰(105)을 형성하기 위한 PR패턴을 형성하는 제6단계;상기 제6단계에서 PR패턴이 형성된 웨이퍼를 현상하는 제7단계;로 이루어진 것을 특징으로 하는 미생물 임피던스 측정 센서의 제작방법
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