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유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막, 그 제조 방법, 및 이를 구비한 유기 박막 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2015124776
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 자가 패턴성 유-무기 하이브리드 실리카계 솔-젤 용액은 중심원소로서 실리콘을 포함하며 자외선 광감성 유기관능기를 갖는 제1전구체와 중심 원소로서 실리콘 또는 전이금속을 가지는 제2전구체를 포함한다. 상기 솔-젤 용액은 습식 공정에 의해 다양한 기판 위에 유전체 박막으로 형성될 수 있다. 또한, 박막 형성 온도를 낮출 수 있어 유연성 플라스틱 기판 위에 성막이 가능하다. 형성된 박막은 자가 패턴성을 가지므로 포토리지스트 없이도 패턴화될 수 있다. 따라서, 유기 박막 트랜지스터를 비롯하여 다양한 유연성 디스플레이 및 유연성 전자 소자를 구현할 수 있다.솔-젤 용액, 자가 패턴성, 습식 공정, 유기 박막 트랜지스터, 유전체
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 51/0537(2013.01)
출원번호/일자 1020060068145 (2006.07.20)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0779560-0000 (2007.11.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.07.20)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문주호 대한민국 서울 서대문구
2 정선호 대한민국 서울 서초구
3 이성희 대한민국 서울 강남구
4 김동조 대한민국 경기 수원시 팔달구
5 이슬 대한민국 서울 영등포구
6 박봉균 대한민국 강원 강릉시 구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김진학 대한민국 서울특별시 영등포구 국회대로 ***, 금산빌딩****호 (여의도동)(특허법률사무소광야)
2 김선민 대한민국 서울특별시 강남구 도산대로**길 ** *층 (신사동, 여암빌딩)(특허법률사무소광야)
3 이익배 대한민국 제주특별자치도 서귀포시 서호남로 **, ***동 ***호 (서호동)(세광특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0518044-68
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.04.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.05.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0027043-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0290920-49
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0535832-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0535833-53
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0599147-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중심 원소로서 실리콘을 포함하며 적어도 하나의 자외선 광감성 유기관능기를 갖는 제1전구체, 중심 원소로서 실리콘 또는 전이금속을 가지는 제2전구체, 가수 분해 및 축합 반응을 위한 촉매, 유기 또는 무기 용매, 및 광개시제를 포함하는 유-무기 하이브리드 실리카계 솔-젤 용액으로 형성된 유전층으로서, 자외선을 선택적으로 조사하여 부분적으로 패터닝된 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1전구체는 메타크릴록시프로필트리메톡시실란, 글리시딜록시프로필트리메톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 머켑토프로필트리메톡시실란 및 비닐트리메톡시실란, 머켑토프로필트리에톡시실란 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막
3 3
제1항에 있어서, 상기 제2전구체는 메틸트리에톡시실란, 메틸트리메톡시실란 , 에틸트리에틱시실란, 에틸트리메톡시실란, 테트라에틸오쏘실리케이트, 페닐트리에톡시실란, 페닐트리메톡시실란, 다이페닐다이에틸헥실록시다이에톡시실, 아미노프로필트리에톡시실란, 아미노프로필트리메톡시실란, 다이페닐실란다이올, 다이메틸다이메톡시실란, 알루미늄 설페이트, 지르코늄 아세테이트, 지르코늄 에톡사이드, 지르코늄 설페이트, 지르코늄 이소프로폭사이드, 지르코늄 프로폭사이드, 타이타늄 나이트라이트, 타이타늄 부톡사이드, 타이타늄 에톡사이드, 타이타늄 이소프로폭사이드 , 타이타늄 프로폭사이드, 타이타늄 메톡사이드, 란탄늄 아세테이트, 란탄늄 나이트라이트, 란탄늄 설페이트, 탄탈륨 부톡사이드, 탄탈륨 에톡사이드, 탄탈륨 메톡사이드 및 하프늄 설페이트 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막
4 4
제1항에 있어서, 상기 촉매는 염산, 황산 및 질산 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 광개시제는 하이드록시사이클로헥실페닐케톤 (1-hydroxylclohexylphenylkotone)인 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막
7 7
중심 원소로서 실리콘을 포함하며 적어도 하나의 자외선 광감성 유기관능기를 갖는 제1전구체, 중심 원소로서 실리콘 또는 전이금속을 가지는 제2전구체, 가수 분해 및 축합 반응을 위한 촉매, 광개시제 및 유기 또는 무기 용매를 혼합하여 실리카계 솔-젤 용액을 준비하는 단계, 상기 실리카계 솔-젤 용액을 습식 공정에 의하여 박막을 형성하는 단계, 및상기 박막에 자외선을 조사하여 패터닝하는 단계를 포함하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 박막은 스핀코팅, 딥코팅, 드랍캐스팅, 또는 잉크젯 프린팅에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막의 제조 방법
9 9
제7항에 있어서, 형성된 박막을 200℃ 이하에서 열처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터용 자가 패턴성 유전체 박막의 제조 방법
10 10
삭제
11 11
기판과, 적어도 하나의 유전체층과, 소스 및 드레인 전극과, 유기 반도체층을 포함하는 유기 박막 트랜지스터에 있어서,상기 유전체층은 중심 원소로서 실리콘을 포함하며 적어도 하나의 자외선 광감성 유기관능기를 갖는 제1전구체, 중심 원소로서 실리콘 또는 전이금속을 가지는 제2전구체, 가수 분해 및 축합 반응을 위한 촉매, 광개시제 및 유기 또는 무기 용매를 혼합하여 얻어진 유기-무기 하이브리드 실리카계 솔-젤 용액을 습식 공정에 의하여 형성한 박막을 자외선에 의하여 선택적으로 패터닝한 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
12 12
제11항에 있어서, 상기 소스 및 드레인 전극은 금, 은, 구리, 알루미늄, 크롬, 타이타늄, 니켈, 팔라듐, 백금, 바륨을 포함하는 금속 소재, 폴리아닐린, PEDOT:PSS, 전도성 중합체를 포함하는 유기 소재 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
13 13
제11항에 있어서, 상기 유기 반도체층은 안트라센, 테트라센, 펜타센, 치환된 펜타센을 포함하는 아센과, 섹시티오펜, 쿼터티오펜, 페릴렌, 폴러렌, C60, 헥사데카플루오로프탈로시아닌 구리(II)를 포함하는 유기 단분자 소재와, α,ω-디헥실섹시티오펜, α,ω-디헥실쿼터티오펜, 폴리(3-헥실티오펜)을 포함하는 유기 폴리머 소재 중에서 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터
14 14
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.