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입사광을 제공받아, 상기 입사광의 개구수를 확장하는 핀홀 부재를 포함하는 대구경 파형 발생부; 및
상기 대구경 파형 발생부에서 발생된 광을 전달받는 감지부를 포함하며,
측정될 광학 부품은 상기 대구경 파형 발생부와 상기 감지부 사이에 위치되어, 자신을 통과한 광을 상기 감지부에 제공하고,
상기 감지부는,
상기 입사광을 복수 영역으로 집속하는 마이크로 렌즈 어레이, 및
상기 마이크로 렌즈 어레이로 부터 집속된 광을 입력받는 CCD(charge coupled device)를 포함하는 SH(shack Hartmann) 센서인 광학 부품 측정 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 대구경 파형 발생부는,
상기 입사광을 제공하는 광원,
상기 광원으로 부터 입사되는 광의 투과도를 증폭하는 렌즈 유닛; 및
상기 렌즈 유닛에서 제공되는 광의 개구수를 확장하는 상기 핀홀 부재를 포함하는 광학 부품 측정 장치
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제 2 항에 있어서,
상기 광원과 상기 렌즈 유닛을 광학적으로 연결하는 광섬유를 더 포함하는 광학 부품 측정 장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 핀홀 부재는,
상기 입사광 대해 투명한 기판; 및
상기 기판상에 형성되며 핀홀을 포함하는 불투명층을 포함하는 광학 부품 측정 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,
상기 광학 부품과 상기 감지부 사이에, 상기 광학 부품의 광학적 정보가 반영된 광을 상기 감지부에 전달하기 위한 파형 전달부를 포함하는 광학 부품 측정 장치
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제 7 항에 있어서,
상기 파형 전달부는,
일정 간격 이격되며 광학면이 마주하도록 배치된 한 쌍의 렌즈를 포함하는 릴레이 옵틱스인 광학 부품 측정 장치
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광원으로부터 조사되는 광을 전달하는 파형 전달부 및 상기 파형 전달부로부터 제공되는 광을 감지하는 감지부를 포함하는 광학 부품 측정 장치에 의해 광학 부품을 특성을 측정하는 방법으로서,
상기 광원과 상기 파형 전달부 사이에 기준 평행광 렌즈를 설치하는 단계;
상기 광원, 상기 기준 평행광 렌즈, 상기 파형 전달부 및 상기 감지부를 나란히 정렬한 후, 상기 파형 전달부 및 상기 감지부의 수차 정보가 반영된 기준 데이터 광 정보를 산출하는 단계;
상기 기준 평행광 렌즈를 제거하는 단계;
상기 광원과 상기 파형 전달부 사이에 핀홀 부재를 갖는 대구경 확장부 및 측정될 광학 부품을 설치하고, 상기 측정될 광학 부품의 수차 정보가 반영된 측정 데이터 광 정보를 산출하는 단계; 및
상기 측정 데이터 광 정보로부터 상기 기준 데이터 광 정보를 제거하여, 상기 측정될 광학 부품 본래의 수차 정보를 구하는 단계를 포함하는 광학 부품 측정 방법
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제 10 항에 있어서,
상기 기준 평행광 렌즈는
복수의 유리 렌즈인 광학 부품 측정 방법
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제 10 항에 있어서,
상기 기준 평행광 렌즈를 설치하는 단계와, 상기 기준 데이터 광 정보를 산출하는 단계 사이에, 상기 감지부를 예열하는 단계를 더 포함하는 광학 부품 측정방법
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