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서로 분리된 상태로 제1생체유체 및 제2생체유체를 유입시키는 단계;
상기 유입된 제2생체유체를 분기시켜, 상기 분기된 제2생체유체의 일부는 상기 제1생체유체의 유동에 합류시켜 상기 제1생체유체와 혼합하여 반응하도록 하고 상기 분기된 제2생체유체의 다른 일부는 계속 상기 제1생체유체와 분리되어 유동하도록 하는 단계; 및
상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체의 혼합 유동과 상기 제1생체유체와 분리되어 유동하는 상기 제2생체유체와의 온도차를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체유체의 반응 온도 측정 방법
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제1항에 있어서, 상기 분기된 제2생체유체의 유동의 일부를 상기 제1생체유체의 유동으로 합류시에 상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체 간의 혼합에 의한 반응을 촉진하기 위하여 상기 제1생체유체 및 상기 제2생체유체를 그 진행방향에 대하여 회전시키면서 혼합시키는 것을 특징으로 하는 생체유체의 반응 온도 측정 방법
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제2항에 있어서, 상기 제1생체유체 및 상기 제2생체유체의 혼합 유동과 상기 제1생체유체와 분리되어 유동하는 상기 제2생체유체의 유동의 다른 일부와의 온도차의 측정은 복수 회에 걸쳐서 이루어지며,
서로 분리된 상태로 유입된 제1생체유체 및 제2생체유체의 온도차를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체유체의 반응 온도 측정 방법
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제2항에 있어서, 상기 온도차의 측정은 열전대(thermopile)에 의하는 것을 특징으로 하는 생체유체의 반응 온도 측정 방법
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5
기판;
상기 기판의 상부면에 형성되며 두 연결지점 사이의 온도차를 측정하기 위한 다수의 열전대(thermopile)들; 및
상기 기판 및 상기 다수의 열전대들 상에 형성되며, 제1생체유체를 유입시키기 위한 제1유로, 제2생체유체를 유입시키기 위한 제2유로, 상기 제2유로와 상기 제1유로를 연결시키는 제3유로, 상기 제2유로에 연결되어 상기 제2생체유체를 유출시키기 위한 제4유로 및 상기 제1유로와 상기 제3유로에 연결되어 혼합된 상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체를 유출시키기 위한 제5유로를 정의하는 폴리머 패턴을 포함하며,
상기 다수의 열전대 중 일부는 상기 제1유로 및 상기 제2유로에 연결되고, 상기 다수의 열전대 중 다른 일부는 상기 제5유로 및 상기 제4유로에 연결되는 것을 특징으로 하는 마이크로칼로리미터
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제5항에 있어서, 상기 제5유로는 내부에 상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체의 혼합을 촉진하기 위한 다수의 구조물들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로칼로리미터
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7
제6항에 있어서, 상기 다수의 구조물들이 연장되는 방향과 상기 제5 유로의 진행방향이 이루는 각은 예각인 것을 특징으로 하는 마이크로칼로리미터
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8
기판에 보호막 및 절연막을 형성하는 단계;
상기 기판의 하부면의 일부를 식각하는 단계;
상기 기판의 상부면에 접착층을 형성하는 단계;
상기 접착층의 상부면에 제1배선층을 형성하는 단계;
상기 제1배선층을 식각하여 제1배선층 패턴을 형성하는 단계;
상기 기판의 상부면에 제2배선층을 형성하는 단계;
상기 제2배선층을 식각하여 제2배선층 패턴을 형성함으로써 상기 제1배선층 패턴 및 상기 제2배선층 패턴으로 이루어지는 열전대(thermopile)들을 형성하는 단계;
제1생체유체를 유입시키기 위한 제1유로, 제2생체유체를 유입시키기 위한 제2유로, 상기 제2유로와 상기 제1유로를 연결시키는 제3유로, 상기 제2유로에 연결되어 상기 제2생체유체를 유출시키기 위한 제4유로 및 상기 제1유로와 상기 제3유로에 연결되어 혼합된 상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체를 유출시키기 위한 제5유로를 정의하는 폴리머 패턴을 형성하는 단계;
상기 기판의 상부면에 상기 폴리머 패턴을 적층하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로칼로리미터의 제조 방법
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기판, 상기 기판의 상부면에 형성되며 두 연결지점 사이의 온도차를 측정하기 위한 다수의 열전대(thermopile)들 및 상기 기판 및 상기 다수의 열전대들 상에 형성되며, 제1생체유체를 유입시키기 위한 제1유로, 제2생체유체를 유입시키기 위한 제2유로, 상기 제2유로와 상기 제1유로를 연결시키는 제3유로, 상기 제2유로에 연결되어 상기 제2생체유체를 유출시키기 위한 제4유로 및 상기 제1유로와 상기 제3유로에 연결되어 혼합된 상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체를 유출시키기 위한 제5유로를 정의하는 폴리머 패턴을 포함하며, 상기 다수의 열전대 중 일부는 상기 제1유로 및 상기 제2유로에 연결되고, 상기 다수의 열전대 중 다른 일부는 상기 제5유로 및 상기 제4유로에 연결되고, 상기 제5유로는 내부에 상기 제1생체유체와 상기 제2생체유체의 혼합을 촉진하기 위한 다수의 구조물들을 포함하고 상기 다수의 구조물들이 연장되는 방향과 상기 제5유로가 이루는 각은 예각인 마이크로칼로리미터;
상기 마이크로칼로리미터로 상기 제1생체유체 및 상기 제2생체유체를 공급하기 위하여 상기 제1유로 및 상기 제2유로에 각각 연결되는 생체유체공급부;
상기 다수의 열전대들에 의한 온도측정결과를 분석하기 위해 상기 다수의 열전대들에 연결되는 분석부; 및
상기 마이크로칼로리미터로부터 상기 제1생체유체 및 상기 제2생체유체를 배출시키기 위하여 상기 제4유로 및 상기 제5유로에 각각 연결되는 생체유체배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체유체 반응 온도 측정 시스템
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