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기판, 접착층, 전도성 박막, 및 상기 전도성 박막 상부에 형성된 금속 나노 구조층이 순차적으로 적층된 센서부;
상기 센서부의 하부에 부착되고, 광원으로부터 입사된 제1광을 상기 센서부로 유도하여 상기 제1광에 대한 반사광인 제2광을 생성하도록 제어하는 광학 모듈부;
상기 광학 모듈부로 입사하는 상기 제1광을 분기하고, 상기 분기된 제1광 및 상기 제2광을 수집하여 간섭광을 생성하는 광전자 모듈부; 및
상기 간섭광으로부터 표면 플라즈몬 공명 흡수에 의한 위상 전이를 측정하는 수광부
를 포함하고,
상기 광전자 모듈부는 상기 생성된 간섭광을 복수의 편광파로 분리하기 위한 편광파 분리부를 더 포함하고,
상기 수광부는 상기 분리된 복수의 편광파의 감지되는 시간 차이로부터 상기 위상 전이를 측정하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 접착층은 크롬(Cr) 또는 티타늄(Ti) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 접착층은 1nm 내지 5nm 의 두께로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 금속 나노 구조층은 금속 나노 와이어층 또는 금속 나노 튜브인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 전도성 박막은 40nm 내지 60nm 의 두께로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 전도성 박막 및 상기 금속 나노 구조층은 동일한 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 전도성 박막은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 반도체, 또는 이들의 혼합물 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 금속 나노 구조층은 일렬로 배치된 복수의 금속 나노 와이어를 포함하고, 상기 복수의 금속 나노 와이어는 10nm의 두께 및 300nm의 피치로 구성된 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 광전자 모듈부는 마크젠더(Mach-Zehnder) 간섭계인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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제1항에 있어서,
상기 편광파 분리부는 월라스톤(Woolaston) 프리즘, 노말스키(Nomarski) 프리즘, 니콜(Nicol) 프리즘, 글랜-톰슨(Glan-Thompson) 프리즘, 글랜-푸우코(Glan-Foucault) 프리즘 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 센서 시스템
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