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하기를 포함하는 바이오 센서:
기판;
상기 기판의 일면에 형성된 소스 및 드레인 전극;
상기 소스 및 드레인 전극을 연결하는 탄소 나노 튜브;
상기 탄소 나노 튜브의 적어도 일부 영역을 덮는 금속 게이트;
상기 금속 게이트에 고정화된 인지 성분(component); 및
상기 소스 및 드레인 전극을 덮는 패시베이션 층
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제 1 항에 있어서,
상기 금속 게이트는 금(Au) 또는 은(Ag)으로 형성된 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,
상기 금속 게이트와 탄소 나노 튜브 사이에 위치하는 접착층을 더 포함하는 바이오 센서
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4
제 3 항에 있어서,
상기 접착층은 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 또는 칼슘(Ca)으로 형성된 바이오 센서
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5
제 1 항에 있어서,
상기 기판은 투명한 석영 또는 유리로 형성된 바이오 센서
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6
제 1 항에 있어서,
상기 전극은 금(Au), 백금(Pt) 또는 팔라듐(Pd)으로 형성된 바이오 센서
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7
제 1 항에 있어서,
상기 전극은 다층 구조를 가지며, 상기 다층 구조는 티타늄/금, 크롬/금, 티타늄/백금, 크롬/백금, 티타늄/팔라듐 또는 크롬/팔라듐인 바이오 센서
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8
제 1 항에 있어서,
상기 금속 게이트가 패시베이션 층으로부터 노출된 바이오 센서
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9
제 1 항에 있어서,
상기 패시베이션 층은 규소 산화물 또는 폴리머로 형성된 바이오 센서
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10
제 1 항에 있어서,
상기 인지 성분은 단일 가닥 올리고뉴클레오타이드인 바이오 센서
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11
제 10 항에 있어서,
상기 올리고뉴클레오타이드는 티올 변형된 올리고뉴클레오타이드인 바이오 센서
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12
하기를 포함하는 바이오 센서의 제조방법:
기판의 일면에 탄소 나노 튜브를 성장시키는 단계;
상기 기판의 일면에 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 형성하여, 상기 소스 전극과 드레인 전극이 상기 탄소 나노 튜브를 매개로 전기적으로 연결되도록 하는 단계;
상기 탄소 나노 튜브의 적어도 일부 영역을 덮도록 금속 게이트를 형성하는 단계;
상기 금속 게이트에 인지 성분을 고정화시키는 단계; 및
상기 소스 및 드레인 전극을 덮도록 패시베이션 층을 형성하는 단계
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13
제 12 항에 있어서,
상기 금속 게이트는 상기 탄소 나노 튜브 사이에 접착층이 형성된 후에, 상기 접착층 상에 형성되는 바이오 센서의 제조방법
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14
제 13 항에 있어서,
상기 전극은 포토리소그라피법 또는 금속 마스크법으로 형성되는 바이오 센서의 제조방법
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15
제 13 항에 있어서,
상기 금속 게이트는 포토리소그라피법, 이빔리소그라피법 또는 금속 마스크법으로 형성되는 바이오 센서의 제조방법
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하기의 단계를 포함하는, 제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 바이오 센서를 사용하는 표적 성분 감지 방법:
금속 게이트의 표면에 인지 성분을 고정화하는 단계;
탄소 나토 튜브의 컨덕턴스 변화를 측정하는 단계; 및
금속 게이트의 SPR 공명각의 변경을 측정하는 단계
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