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플라즈마용 광학 장치

  • 기술번호 : KST2015125417
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마용 광학 장치을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 발생 장치의 윈도우를 통하여 대상 영역에서 방출되는 광방출 스펙스럼(optical emission spectrum)을 수광하는 수광 렌즈, 수광 렌즈와 상기 윈도우 사이에 배치되어 아웃 포커스(out focus)된 광을 차단하는 제1 구경 조리개(aperture stop), 수광 렌즈와 수광 렌즈의 결상 영역 사이에 배치되어 인 포커스 광을 차단하는 제2 구경 조리개, 및 수광 렌즈의 결상 영역에 배치되고 대상 영역의 촛점 심도를 제한하는 핀 홀(pin hole)을 포함한다.핀홀, OES, 플라즈마, 공간분포, 공간 분해능
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090010547 (2009.02.10)
출원인 삼성전자주식회사, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1520453-0000 (2015.05.08)
공개번호/일자 10-2010-0091378 (2010.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20150520) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.20)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이헌정 대한민국 서울특별시 노원구
2 채승기 대한민국 서울특별시 서초구
3 한재원 대한민국 서울특별시 종로구
4 오창훈 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0081226-57
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2009.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0706475-46
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
7 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0055763-61
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0055759-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0891187-05
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0205068-12
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0205070-04
13 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0158855-82
14 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-0236536-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마에서 방출되는 광방출 스펙스럼(optical emission spectrum)을 수광하는 수광 렌즈;상기 수광 렌즈와 상기 플라즈마 사이에 배치되어 아웃 포커스(out focus)된 광을 차단하는 제1 구경 조리개(aperture stop);상기 수광 렌즈와 상기 수광 렌즈의 결상 영역 사이에 배치되어 인 포커스(in focus)된 광을 차단하는 제2 구경 조리개; 및상기 수광 렌즈의 결상 영역에 배치되고 촛점 심도를 제한하는 핀 홀(pin hole)을:포함하는 광학 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 핀 홀의 후단에 배치된 비축광원 제거부를 더 포함하는 광학 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 비축광원 제거부는:제1 렌즈;제2 렌즈; 및상기 제1 렌즈와 상기 제2 렌즈 사이에 배치된 구경 조리개를 포함하는 광학 장치
6 6
제4항에 있어서,상기 비축 광원 제거부를 통과한 광을 입력받아 소정의 위치로 광을 전달하는 광전달부;상기 광전달부의 출력광을 입력받는 파장에 따른 광의 강도를 측정하는 분광부; 및상기 분광부의 출력 신호를 제공받아 상기 분광부의 출력 신호를 처리하는 제어부를;더 포함하는 광학 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 제2 구경 조리개와 상기 핀 홀 사이에 배치되어 상기 수광 렌즈를 통과한 광의 경로를 변경하여 정렬 여부를 확인하는 정렬부를 더 포함하는 광학 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 정렬부는:상기 제2 구경 조리개를 통과한 광의 경로를 변경하고 이동 가능한 미러;상기 미러에서 반사된 광의 위치를 확인하는 레티클;상기 레티클을 통과한 광을 집광하는 정렬 렌즈; 및상기 정렬 렌즈를 통과한 광을 입력 받는 감지부를;포함하는 광학 장치
9 9
제1항에 있어서,상기 수광 렌즈, 상기 제1 구경 조리개(aperture stop), 상기 제2 구경 조리개, 및 상기 핀 홀이 장착된 프레임을 더 포함하되,상기 프레임은 상기 수광 렌즈와 상기 플라즈마의 거리를 변경하는 광학 장치
10 10
제1항에 있어서,상기 수광 렌즈, 상기 제1 구경 조리개가 장착된 렌즈 이동부를 더 포함하고,상기 렌즈 이동부는 상기 수광 렌즈와 상기 핀 홀 사이의 거리를 조절하는 광학 장치
11 11
수광 렌즈;챔버와 에너지 인가 수단과 윈도우를 포함하며, 상기 수광 렌즈는 상기 윈도우를 통하여 대상 영역으로부터 방출되는 광방출 스펙트럼을 수광하는 플라즈마 발생기;상기 수광 렌즈와 상기 윈도우 사이에 제공되어 아웃 포커스된 광을 차단하는 제1 구경 조리개;상기 수광 렌즈와 상기 수광 렌즈의 결상 영역 사이에 제공되어 인 포커스된 광을 차단하는 제2 구경 조리개;상기 수광 렌즈의 결상 영역에 제공되어 상기 대상 영역의 촛점심도를 제한하는 핀 홀;상기 핀 홀의 후단에 제공된 비축광원 제거부;상기 비축광원 제거부의 후단에 제공되고, 상기 핀 홀을 통과하여 상기 비축광원 제거부에서 집광된 광을 전달받는 광전달부;상기 광전달부로부터 전달받은 출력광의 강도를 파장에 따라 측정하는 분광부;상기 분광부의 출력 신호를 제공받아 상기 출력 신호를 처리하는 제어부;상기 제2 구경 조리개와 상기 핀 홀 사이에 제공되어 상기 수광 렌즈를 통과한 광의 경로를 변경시키는 정렬부;상기 수광 렌즈, 상기 제1 구경 조리개, 상기 제2 구경 조리개, 및 상기 핀 홀이 장착된 이동 가능한 프레임; 및상기 프레임에 설비된 렌즈 이동부를;포함하는 광학 장치
12 12
제11항에 있어서,상기 비축광원 제거부는:제1 렌즈;제2 렌즈; 및상기 제1 및 제2 렌즈들 사이에 제공된 구경 조리개를 포함하고,상기 제1 렌즈의 초점은 상기 핀 홀의 위치와 일치하고, 상기 제1 렌즈는 평행광을 출력하고, 상기 제2 렌즈는 상기 평행광을 입력받아 상기 제2 렌즈의 초점에 상기 입력받은 광을 집중시키고, 상기 비축광원 제거부의 구경 조리개는 비축광원에서 상기 핀 홀을 통과한 광을 제거하는 광학 장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US08416509 US 미국 FAMILY
2 US20100200767 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2010200767 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8416509 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.