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이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015125604
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 적어도 그 표면이 게르마늄을 포함하는 적외선 광학계용 광소자와, 게르마늄과 이종재료의 물질로서, 적외선 투과성을 갖고, 비등방성 식각성을 가지며, 굴절률은 공기보다 크고 게르마늄보다는 작은 실리콘으로, 상기 광소자의 표면에 형성되는, 이종재료 반사방지 미세구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자를 제공한다. 또한, 본 발명은, 적어도 그 표면이 게르마늄을 포함하는 적외선 광학계용 광소자를 준비하는 제1단계와, 게르마늄과 이종재료의 물질로서, 적외선 투과성을 갖고, 비등방성 식각성을 가지며, 굴절률은 공기보다 크고 게르마늄보다는 작은 실리콘으로, 상기 광소자의 표면에 이종재료 반사방지 미세구조물을 형성하는 제2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자 제조방법을 제공한다. 바람직하게는, 상기 제2단계는, 상기 광소자 위에 상기 실리콘의 층을 형성하는 단계; 상기 실리콘의 층 위에 배리어패턴을 형성하는 단계; 및 상기 실리콘을 식각하여 상기 이종재료 반사방지 미세구조물을 형성하는 단계;를 포함한다.
Int. CL G02B 1/10 (2006.01) G01J 5/00 (2006.01)
CPC G02B 1/111(2013.01) G02B 1/111(2013.01)
출원번호/일자 1020100007739 (2010.01.28)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1314515-0000 (2013.09.25)
공개번호/일자 10-2011-0088030 (2011.08.03) 문서열기
공고번호/일자 (20131002) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.28)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강신일 대한민국 서울 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김선민 대한민국 서울특별시 강남구 도산대로**길 ** *층 (신사동, 여암빌딩)(특허법률사무소광야)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0059120-79
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document
2010.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-5003736-76
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0354406-00
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0670233-85
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0758622-73
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0848409-98
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0942716-83
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0942721-12
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0247356-62
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0512661-86
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0601725-75
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0680295-18
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0787015-83
15 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0121887-19
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0875242-27
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0875245-64
18 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0203510-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
20 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2013.04.25 수리 (Accepted) 7-1-2013-0016257-72
21 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0466847-92
22 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.05.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0466848-37
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
24 등록결정서
Decision to Grant Registration
2013.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0456933-88
25 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1물질을 포함하는 적외선 광학계용 광소자와, 상기 제1물질과 이종재료의 물질로서, 적외선 투과성을 갖고, 비등방성 식각성을 가지며, 굴절률은 공기보다 크고 상기 제1물질보다는 작은 제2물질로, 상기 광소자의 표면에 형성되고, 상기 적외선 광학계용 광소자에 사용되는 적외선의 파장의 반 이하의 주기를 갖는, 이종재료 반사방지 미세구조물(Anti-Reflection Structures)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자
2 2
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3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1물질은 게르마늄인 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자
5 5
제1항에 있어서, 상기 제2물질은 실리콘 또는 실리콘 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자
6 6
제1항에 있어서, 상기 제2물질은 8~13㎛ 파장 대역에서 적외선 투과성을 갖는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자
7 7
제1물질을 포함하는 적외선 광학계용 광소자를 준비하는 제1단계와,상기 제1물질과 이종재료의 물질로서, 적외선 투과성을 갖고, 비등방성 식각성을 가지며, 굴절률은 공기보다 크고 상기 제1물질보다는 작은 제2물질로, 상기 광소자의 표면에, 상기 적외선 광학계용 광소자에 사용되는 적외선의 파장의 반 이하의 주기를 갖는 이종재료 반사방지 미세구조물(Anti-Reflection Structures)을 형성하는 제2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자 제조방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 제2단계는, 상기 광소자 위에 상기 제2물질의 층을 형성하는 단계; 상기 제2물질의 층 위에 배리어패턴을 형성하는 단계; 및상기 제2물질을 식각하여 상기 이종재료 반사방지 미세구조물을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자 제조방법
9 9
제7항에 있어서, 상기 제1물질은 게르마늄인 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자 제조방법
10 10
제7항에 있어서, 상기 제2물질은 실리콘 또는 실리콘 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 이종재료 반사방지 미세구조물을 갖는 적외선 광학계용 광소자 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.