| 1 |
1
블록공중합체 용액을 패턴화된 마이크로몰드에 스핀코팅 및 디웨팅시켜, 상기 마이크로몰드의 패턴에 따라 상기 블록공중합체의 디웨팅 드롭릿(droplet)이 패턴화되는 단계(I);상기 마이크로몰드로부터 기판으로 상기 블록공중합체 디웨팅 드롭릿 패턴을 전사하는 단계(II); 및상기 패턴이 전사된 기판을 휘발성 솔벤트 분위기 하에서 솔벤트 어닐링하여 상기 블록공중합체 디웨팅 드롭릿을 웨팅하는 단계(III)로 이루어지며,상기 블록공중합체가 PS-b-PEO(poly(styrene-block-ethylene oxide)인 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 2 |
2
제1항에서, 상기 단계(III)의 솔벤트 어닐링에 의하여 계단형의 드롭릿과, 상기 드롭릿의 외측 동심원으로 단일층(monolayer)의 브러쉬 레이어(brush layer)가 형성되는 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 3 |
3
제1항에서, 상기 마이크로몰드가 PDMS(poly(dimethyl siloxane)) 몰드인 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 4 |
4
제1항에서, 상기 단계(III)에서 솔벤트 어닐링 시간을 조절함으로써, 브러쉬 레이어의 직경 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항에서, 상기 단계(III)의 솔벤트 어닐링 시간이 20초 이상인 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 7 |
7
제1항에서, 상기 기판이 Si 기판인 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 8 |
8
제1항에서, 상기 단계(III)의 솔벤트 어닐링에서 사용한 솔벤트는 벤젠 증기(benzene vapor)인 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 9 |
9
제8항에서, 상기 단계(III)의 솔벤트 어닐링에서 사용한 솔벤트는 벤젠 증기와 수증기의 혼합 수증기인 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제1항에서, 상기 마이크로몰드의 웨팅성(wettability)를 조절하기 위하여 상기 마이크로몰드를 산소플라즈마처리하는 것을 특징으로 하는 디웨팅 및 솔벤트 어닐링을 이용한 블록공중합체의 패턴화 방법
|
