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MEMS 기반의 NOx 가스 변환장치로서, ⅰ) NOx 가스가 유입되는 유입부(10), ⅱ) 애노드(21)와 캐소드(22)가 서로 마주보는 양 벽면에 각각 다수의 봉우리 형태로 서로 겹치도록 형성되며, 상기 유입부(10)로 유입된 NOx 가스가 상기 애노드(21)와 캐소드(22)로 구성된 전극이 있는 공간과 없는 공간을 순차적으로 반복 통과하면서 코로나 방전에 의하여 O 원소와 N 원소로의 분리 및 NO2로의 재결합을 반복하여 최종적으로 NO2로 변환되는 가스 반응부(20), 및 ⅲ) 상기 재결합된 NO2 가스가 함유된 NOx 가스가 배출되는 배출부(30)를 포함하며, 상기 반응부(20)를 통과하는 NOx 가스의 공간속도(volumetri c flow/reactor volume)가 6×107(h-1) 이고, 상기 반응부(20) 내의 NO 가스의 NO2 가스로의 변환율이 20% 내지 30% 인 것을 특징으로 하는 NOx 가스 변환장치
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NOx 가스 내의 NO2 성분을 탐지하는 제1 센서 모듈, 애노드와 캐소드가 형성되며 상기 제1 센서 모듈을 통과한 가스 내의 NOx 성분이 상기 애노드와 캐소드 사이에서 발생하는 코로나 방전에 의하여 O 원소와 N 원소로 분리된 후 NO2로 재결합하는 반응모듈, 및 상기 반응모듈을 통과한 NOx 가스 내의 NO2 성분을 탐지하는 제2 센서 모듈을 포함하는 NOx 가스 분석 장치
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제5항에 있어서, 상기 반응모듈 내에 형성된 애노드 또는 캐소드가 봉상 또는 침상의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 분석 장치
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제5항에 있어서, 상기 반응모듈을 통과하는 NOX 가스의 공간속도(volume tric flow/reactor volume)가 6×107(h-1) 이상인 것을 특징으로 하는 NOx 가스 분석 장치
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제7항에 있어서, 상기 반응모듈 내의 NO 가스의 NO2 가스로의 변환율이 20% 내지 30% 인 것을 특징으로 하는 NOx 가스 분석 장치
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NOx 가스 내 NO2 성분을 탐지하는 제1 센서 모듈, 애노드와 캐소드가 형성되며 상기 제1 센서 모듈을 통과한 가스 내의 NOx 성분이 상기 애노드와 캐소드 사이에서 발생하는 코로나 방전에 의하여 O 원소와 N 원소로 분리된 후 NO2로 재결합하는 반응모듈, 상기 반응모듈을 통과한 NOx 가스 내 NO2 성분을 탐지하는 제2 센서 모듈을 포함하는 분석 장치를 이용한 NOx 총량 분석 방법에 있어서, i) NOx 가스를 상기 분석 장치에 통과시킨 후, 상기 분석 장치의 제1 센서와 제2 센서를 통하여 상기 반응모듈을 통과하기 전과 후의 NOx 가스 내 NO2 성분을 측정하는 제1단계; 및ii) 상기 제1단계에서 측정된 NOx 가스 내 NO2 성분 변화량과 상기 반응모듈의 NO 가스의 NO2 가스로의 변환율을 통하여 상기 NOx 가스 내의 NO 총량을 결정하는 제2단계;를 포함하는 NOx 가스 분석 방법
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제9항에 있어서, 상기 반응모듈의 변환율이 NO 와 O2 로 구성된 혼합 가스를 상기 분석 장치에 통과시킨 후, 상기 분석 장치의 제1 센서와 제2 센서를 통하여 측정되는 NOx 가스 내 NO2 성분 변화량을 통하여 결정되는 것을 특징으로 하는 NOx 가스 분석 방법
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제9항에 있어서, 상기 애노드 또는 캐소드가 봉상 또는 침상의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 NOx 총량 분석 방법
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제9항에 있어서, 상기 반응모듈을 통과하는 NOX 가스의 공간속도(volume tric flow/reactor volume)가 6×107(h-1) 이상인 것을 특징으로 하는 NOx 가스 분석 방법
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제12항에 있어서, 상기 반응모듈 내의 NO 가스의 NO2 가스로의 변환율이 20% 내지 30% 인 것을 특징으로 하는 NOx 가스 분석 방법
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