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기판;상기 기판에 형성된 방열체;상기 방열체 상에 형성된 서브마운트;상기 서브마운트 상에 형성되어 광을 발진시키는 광원부;상기 광원부와 자기헤드를 잇는 일직선상에 배치되며, 상기 광원부로부터 발산되는 광을 집광시켜 상기 자기헤드로 평행광을 출력하는 렌즈; 및상기 자기헤드로부터 반사되어 렌즈를 경유한 반사광을 수광하는 수광부를 포함하는 모듈이, 상기 자기헤드와는 독립체로서 분리되어 위치하며,상기 평행광 및 반사광은 공간 상으로 이동되고,상기 반사광을 이용하여 상기 자기헤드로 입사되는 광량을 모니터링하며,상기 모듈에 이동 액츄에이터를 형성시키고, 상기 광량에 대응한 상기 이동 액츄에이터의 승하강 또는 좌우이동에 따라 상기 모듈의 광 조사 방향이 제어되는 것을 특징으로 하는 열보조 자기기록의 마이크로 레이저 모듈
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제1항에 있어서,상기 방열체는 상기 기판의 관통홈에 채워지거나 끼워져 형성된 구리인 것을 특징으로 하는 열보조 자기기록의 마이크로 레이저 모듈
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제1항에 있어서,상기 서브마운트는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 열보조 자기기록의 마이크로 레이저 모듈
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제1항에 있어서,상기 광원부는 상기 서브마운트 상부에 GaAs층 및 AlGaAs층을 박막 증착시킨 레이저 다이오드인 것을 특징으로 하는 열보조 자기기록의 마이크로 레이저 모듈
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자기기록 미디어 상에 부상되는 서스펜션 어셈블리;상기 서스펜션 어셈블리의 말단부에 형성되며, 전달되는 광의 입사점 영역에 형성된 반사판을 포함하는 자기헤드; 및상기 서스펜션 어셈블리에 결합되며, 광을 발진시켜 상기 광을 공간을 통해 상기 자기헤드로 전달하고, 상기 자기헤드의 반사판으로부터 반사되는 반사광을 공간을 통해 수광하여 광량을 측정하며, 측정된 광량에 대응하여 자세 제어를 수행하는 마이크로 레이저 모듈을 포함하며,상기 마이크로 레이저 모듈과 자기헤드는 독립체로서 각각 분리되어 상기 서스펜션 어셈블리에 결합되며,상기 서스펜션 어셈블리와 마이크로 레이저 모듈 사이에 이동 액츄에이터를 형성시키고, 상기 이동 액츄에이터의 승하강 또는 좌우이동에 따라 상기 마이크로 레이저 모듈의 광 조사 방향이 제어되는 것을 특징으로 하는 광량 제어 시스템
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삭제
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제5항에 있어서,상기 이동 액츄에이터는 전압 인가에 의해 형상이 변형되는 PZT 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 광량 제어 시스템
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제5항 또는 제7항에 있어서,상기 마이크로 레이저 모듈은,기판;상기 기판에 형성된 방열체;상기 방열체 상에 형성된 서브마운트;상기 서브마운트 상에 형성되어 광을 발진시키는 광원부;상기 광원부와 자기헤드를 잇는 일직선상에 배치되며, 상기 광원부로부터 발산되는 광을 집광시켜 상기 자기헤드로 평행광을 출력하는 렌즈; 및상기 자기헤드로부터 반사되어 렌즈를 경유한 반사광을 수광하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광량 제어 시스템
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청구항 5의 광량 제어 시스템을 이용한 광량 제어 방법에 있어서,자기기록 미디어 상에 부상되는 서스펜션 어셈블리에 결합된 마이크로 레이저 모듈에서 광을 발진시켜 공간을 통해 자기헤드로 전달하는 단계;상기 자기헤드로부터 일부 반사된 반사광을 상기 마이크로 레이저 모듈에서 수광하는 단계;상기 반사광의 광량에 대응하여 연산부가 상기 마이크로 레이저 모듈의 자세 제어를 위한 제어값을 산출하는 단계;상기 제어값에 대응하여 이동 액츄에이터가 구동되는 단계; 및상기 이동 액츄에이터의 구동에 따라 상기 마이크로 레이저 모듈의 자세 제어가 이루어져 광 조사 방향이 제어되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광량 제어 방법
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