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고경도 전도성 재료의 표면을 연마하기 위한 연마장치에 있어서,자성체;상기 자성체의 외면에 부착되며, 자화성 입자, 연마제가 포함된 기능성 유체;상기 기능성 유체와 혼합되는 전해액;상기 자성체를 구동시키기 위한 구동수단;상기 고경도 전도성 재료를 이송시키기 위한 이송수단;상기 전해액이 혼합된 기능성 유체와 상기 고경도 전도성 재료 사이에 전원을 인가하기 위한 전원인가수단을 포함하며,상기 전해액이 포함된 기능성 유체와 가공 대상물인 고경도 전도성 재료 사이에 상기 전원인가수단에서 전원을 인가하여 전기장을 형성하고, 형성된 전기장에 의하여 발생하는 전해액의 전기분해에 의한 전기화학적 산화작용에 의해 상기 고경도 전도성재료의 표면을 산화 및 유화시키면서, 상기 자성체에서 발생되는 자기장에 의해 상기 기능성 유체내의 자화성 입자가 자화되어, 자화된 자화성 입자가 자기에너지에 의해 자기력선방향으로 사슬 형태로 배열되고, 상기 연마제가 상기 고경도 전도성 재료 쪽으로 밀려나와 상기 고경도 전도성 재료의 표면을 연마 가공하는 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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제1항에 있어서, 상기 구동수단은,상기 자성체의 중심부에 연결된 스핀들;상기 스핀들을 회전시키는 모터;상기 모터의 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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제2항에 있어서, 상기 모터의 축 하단부와 상기 스핀들의 상단부는 절연체를 개재한 상태에서 플랜지 결합된 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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제3항에 있어서, 상기 스핀들의 외주부에는 상기 스핀들을 통해 상기 자성체로 전원을 공급하기 위한 슬립링이 설치된 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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제1항에 있어서, 상기 자성체를 상하방향(Z축방향)으로 이송시키기 위한 승강수단이 더 포함된 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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제5항에 있어서, 상기 재료는 상기 이송수단에 의해 전후방향(X축방향) 및 좌우방향(Y축방향)으로 이송되는 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 자성체는 영구자석인 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마장치
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고경도 전도성 재료의 표면을 연마하기 위한 연마방법에 있어서,자화 가능한 자화성 입자와 연마제 및 전해액이 포함된 기능성 유체와 가공 대상물인 고경도 전도성 재료 사이에 전기장을 걸어 전해액의 전기분해에 의한 전기화학적 산화작용에 의해 상기 고경도 전도성재료의 표면을 산화 및 유화시키면서, 자성체에서 발생되는 자기장에 의해 상기 기능성 유체내의 자화성 입자가 자화되어, 자화된 자화성 입자가 자기에너지에 의해 자기력선방향으로 사슬 형태로 배열되고, 상기 연마제가 상기 고경도 전도성 재료 쪽으로 밀려나와 상기 고경도 전도성 재료의 표면을 연마 가공하는 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마방법
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제8항에 있어서, 상기 재료는 전후방향(X축방향) 또는 좌우방향(Y축방향)으로 이송되면서 기능성 유체에 의해 표면이 연마 가공되는 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마방법
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제9항에 있어서, 상기 기능성 유체는 상하방향(Z축방향)으로 이송되면서 재료의 표면을 연마 가공하는 것을 특징으로 하는 고경도 전도성 재료의 표면 연마방법
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