| 1 |
1
(a) 기판 상에 단량체에 대해 친화성을 갖는 기능기를 갖는 화합물 및 혐유성 물질에 대해 친화성을 갖는 기능기를 갖는 화합물을 패터닝하는 단계;
(b) 상기 기판을 혐유성 물질을 포함하는 용액 중에 담지하는 단계; 및
(c) 상기 기판을 단량체 용액 중에 담지하여 중합시키는 단계를 포함하는
패턴형성 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서
상기 단량체는 피롤계, 아닐린계, 비닐피리딘계, 이소시아나프텐계, 아세틸렌계, 티오펜계, 설퍼니트리드계 단량체 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서
상기 단량체는 피롤인 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서
상기 혐유성 물질은 퍼플루오로폴리에테르, 폴리테트라플루오로에틸렌, 테트라플루오로에틸렌, 퍼플루오로알킬비닐에테르 및 이들의 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서
상기 혐유성 물질은 퍼플루오로폴리에테르인 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서
상기 단량체에 대해 친화성을 갖는 기능기는 카르복시기, 하이드록시기, 포스페이트기, 시아나이드기 및 알데하이드기로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서
상기 혐유성 물질에 대해 친화성을 갖는 기능기는 아미노기, 설파이드릴기 및 알킬기로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서
단량체에 대해 친화성을 갖는 기능기를 갖는 화합물 및 혐유성 물질에 대해 친화성을 갖는 기능기를 갖는 화합물은 티올기, 하이드록시기, 할로겐기, 알콕시기 및 아민기로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 관능기를 통해 상기 기판상에 결합되는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서
상기 단계 (a) 내지 (c)는 상온에서 수행되는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서
단계 (c)에서, 중합제를 추가로 첨가하는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서
중합제는 염화철(Ⅲ), 암모늄퍼옥시다이설페이트, 부틸리튬, 디메틸아연 및 트리메틸알루미늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는
패턴형성 방법
|
