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열전성능이 우수한 코어/쉘 구조를 갖는 열전 나노와이어, 및 이를 포함하는 열전 나노소자 제조방법

  • 기술번호 : KST2015125944
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 열전성능이 우수한 코어/쉘 구조를 갖는 열전 나노와이어, 및 이를 포함하는 열전 나노소자 제조방법이 제공된다.본 발명은 그 한 가지 양태에 있어서, 기판상에 약 380~550nm 범위의 제어된 직경을 갖고 그 열전성능지수(ZT)가 약 0.5 이상인 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 적치하는 단계; 상기 나노 와이어를 포함하도록 상기 기판상에 코폴리머층을 형성하고, 그 상부에 전자빔 레지스터를 형성하는 단계; 전자빔 리소그래피 공정을 수행하여, 상기 나노와이어 코어의 적어도 일부가 노출되도록 상기 코폴리머층 및 전자빔 레지스트층의 일부를 에칭하는 단계; 챔버 내에서 플라즈마 에칭법을 이용하여 상기 노출된 나노와이어의 표면 산화층을 에칭하여 제거한 후, 산화층이 제거된 나노와이어 상에 오믹 컨텍트를 인시츄(in-situ)로 증착하는 단계 및 상기 나노와이어 상의 코폴리머층 및 전자빔 레지스터층을 제거한 후, 전극을 형성하는 단계를 포함하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 35/02 (2006.01) H01L 35/34 (2006.01)
CPC H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01) H01L 35/32(2013.01)
출원번호/일자 1020130010827 (2013.01.31)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0098353 (2014.08.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.31)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이우영 대한민국 서울 마포구
2 김정민 대한민국 서울 서대문구
3 이승현 대한민국 인천 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0092267-04
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0534785-88
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0079754-20
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0892884-43
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0054615-44
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0175665-76
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0277961-45
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.04.23 무효 (Invalidation) 1-1-2014-0385755-02
12 보정요구서
Request for Amendment		 2014.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0074094-18
13 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2014.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0087728-50
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0526350-80
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
약 380~550nm 범위의 제어된 직경을 갖고 그 열전성능지수(ZT)가 약 0
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 코어와 쉘은 각각 약 340~480nm와 약 20~35nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 열전성능지수(ZT)가 약 0
4 4
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코어는 Bi, Se, Pb, Sb, Sn으로 이루어진 그룹중 선택된 1종의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 코어는 Bi 단결정 나노와이어인 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어
6 6
청구항 4에 있어서, 상기 쉘은 Te, Bi2Te3, PbTe, Sb, S중 선택된 1종임을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 쉘은 Te임을 특징으로 하는 코어/쉘 구조를 갖는 열전 나노와이어
8 8
기판상에 약 380~550nm 범위의 제어된 직경을 갖고 그 열전성능지수(ZT)가 약 0
9 9
청구항 8에 있어서, 상기 나노와이어의 표면 산화층은 Ar가스의 플라즈마를 이용하여 에칭하는 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 오믹 컨텍트를 형성하는 단계는 상기 나노와이어상에 Cr박막을 증착하는 단계 및 상기 Cr 박막상에 Au 또는 Pt중 선택된 하나의 박막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
11 11
청구항 8에 있어서, 상기 나노와이어의 표면 산화층의 제거시, He 가스를 상기 챔버내로 주입하는 공정을 추가로 포함하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
12 12
청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코어와 쉘은 각각 약 340~480nm와 약 20~35nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
13 13
청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서, 상기 열전성능지수(ZT)가 약 0
14 14
청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코어는 Bi, Se, Pb, Sb, Sn으로 이루어진 그룹중 선택된 1종의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
15 15
청구항 14에 있어서, 상기 코어는 Bi 단결정 나노와이어인 것을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
16 16
청구항 14에 있어서, 상기 쉘은 Te, Bi2Te3, PbTe, Sb, S중 선택된 1종임을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
17 17
청구항 16에 있어서, 상기 쉘은 Te임을 특징으로 하는 코어/쉘 구조의 열전 나노와이어를 포함하는 열전 나노소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 중점연구소지원 나노융합 그린에너지 응용 기술 개발
2 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 미래유망 융합기술 파이오니아 사업 인체의 물리적 에너지를 이용한 전력생산 기술
3 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 2010년도 학연협력강화사업 성과창출형 나노기술(NT)을 활용한 인공위성 효율성 향상 요소기술개발
4 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 신기술융합형 성장동력사업 지능형 대면적 디스플레이용 나노패턴 소재 기술