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층상형 마이크로 열유속 센서

  • 기술번호 : KST2015125970
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열유속을 측정하고자 하는 물체의 대상표면에 접촉되는 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 상단면에 구비되는 절연층; 상기 절연층 상단면에 구비되는 열저항층; 상기 절연층 및 상기 열저항층 사이에 구비되는 내부히터; 상기 열저항층의 상단면, 측면 및 열저항층이 절연층과 연결설치되지 않은 부분에 형성된 열전대쌍을 포함하는 것을 특징으로 하는 층상형 마이크로 열유속 센서에 관한 것이다.층상형 마이크로 열유속 센서, 접촉저항, 내부히터
Int. CL G01P 5/00 (2006.01)
CPC G01P 5/04(2013.01) G01P 5/04(2013.01) G01P 5/04(2013.01)
출원번호/일자 1020050050358 (2005.06.13)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1152839-0000 (2012.05.29)
공개번호/일자 10-2006-0129730 (2006.12.18) 문서열기
공고번호/일자 (20120612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.14)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조형희 대한민국 서울특별시 서초구
2 김용준 대한민국 서울특별시 서초구
3 이동현 대한민국 서울특별시 서대문구
4 김정훈 대한민국 경기도 용인시 기흥구
5 김범석 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2005-0310721-14
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0882785-33
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2010-0380315-16
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0060530-08
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0488747-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0853941-84
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0853834-07
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 등록결정서
Decision to grant
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0252953-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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물체의 열유속을 측정하기 위한 층상형 마이크로 열유속 센서에 있어서,열유속을 측정하고자 하는 물체의 대상표면에 접촉되는 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 상단면에 구비되는 절연층; 상기 절연층 상단면에 구비되는 열저항층; 상기 절연층 및 상기 열저항층 사이에 구비되는 내부히터; 상기 열저항층의 상단면, 측면 및 상기 측면에 따라 연장되어 열저항층과 맞닿지 않는 절연층 상으로 연결설치되는 열전대쌍을 포함하는 것을 특징으로 하는 층상형 마이크로 열유속 센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 내부히터가 일측에 하나 이상의 가열 수단이 연결설치된 것을 특징으로 하는 층상형 마이크로 열유속 센서
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제 2항에 있어서, 상기 내부히터가 크롬으로 구성된 것을 특징으로 하는 층상형 마이크로 열유속 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.