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기판;상기 기판 상부의 동일 평면상에 교대로 번갈아 배열되는 P형 열전반도체 소자 및 N형 열전반도체 소자;상기 이웃하는 P형 열전반도체 소자와 N형 열전반도체 소자의 한쪽 끝단에 연결되는 열접점(hot junction)부; 및상기 이웃하는 P형 열전반도체 소자 및 N형 열전반도체 소자의 다른 한쪽 끝단에 연결되는 냉접점(cold junction)부;를 포함하여 이루어지되,상기 기판의 하부에는 상기 열접점부 및 냉접점부에 대응되는 위치에 서로 다른 열전도도를 갖는 2종의 물질이 각각 부착되어 형성되며,상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 냉접점부에 대응하는 물질은 상기 열접점부에 대응하는 물질보다 열전도도가 작으며,상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 열접점부에 대응하는 물질은 Si(silicon)이고, 상기 냉접점부에 대응하는 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자
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제1항에 있어서, 상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 냉접점부에 대응하는 물질의 부착면적은 상기 열접점부에 대응하는 물질의 부착면적보다 큰 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자
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제1항에 있어서, 상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 및 상기 기판은 굽힘이 가능한 유연성 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자
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제1항에 있어서, 상기 열접점부와 냉접점부는 상기 기판 위에 증착시켜 형성한 금속층인 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자
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제6항에 있어서, 상기 금속층을 기판에 부착시키기 위한 접착층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자
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열을 발생하는 열발생부와, 상기 열발생부에서 발생된 열을 전달받아 전기에너지로 변환하여 출력하는 하나 이상의 평면형 열전소자를 구비한 열전발전장치에 있어서,상기 평면형 열전소자는,기판;상기 기판 상부의 동일 평면상에 교대로 번갈아 배열되는 P형 열전반도체 소자 및 N형 열전반도체 소자;상기 이웃하는 P형 열전반도체 소자와 N형 열전반도체 소자의 한쪽 끝단에 연결되는 열접점(hot junction)부; 및상기 이웃하는 P형 열전반도체 소자 및 N형 열전반도체 소자의 다른 한쪽 끝단에 연결되는 냉접점(cold junction)부;를 포함하여 이루어지되,상기 기판의 하부에는 상기 열접점부 및 냉접점부에 대응하도록 서로 다른 열전도도를 갖는 2종의 물질이 각각 부착되어 형성되며,상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 냉접점부에 대응하는 물질은 상기 열접점부에 대응하는 물질보다 열전도도가 작으며,상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 열접점부에 대응하는 물질은 Si(silicon)이고, 상기 냉접점부에 대응하는 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 열전발전장치
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제8항에 있어서, 상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 냉접점부에 대응하는 물질의 부착면적은 상기 열접점부에 대응하는 물질의 부착면적보다 큰 것을 특징으로 하는 열전발전장치
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제8항에 있어서, 상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 및 상기 기판은 굽힘이 가능한 유연성 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 열전발전장치
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제8항에 있어서, 상기 열접점부와 냉접점부는 상기 기판 위에 증착시켜 형성한 금속층인 것을 특징으로 하는 열전발전장치
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제13항에 있어서, 상기 금속층을 기판에 부착시키기 위한 접착층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 열전발전장치
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(a) 기판 위에 열접점부와 냉접점부를 형성하기 위한 금속층을 형성한 후, 포토레지스트를 도포하는 단계와;(b) 리소그래피 공정을 통해 상기 포토레지스트의 일부분을 제거하여 상기 금속층의 일부분을 노출시킨 후, 상기 노출된 금속층 부분에 전기도금을 통해 P형 열전반도체 소자 및 N형 열전반도체 소자 패턴을 형성하는 단계와;(c) 상기 열접점부와 냉접점부, 그리고 상기 P형 열전반도체 소자 및 N형 열전반도체 소자 패턴을 제외한 포토레지스트 및 금속층 부분을 에칭하는 단계와;(d) 상기 기판의 하부면에 서로 다른 열전도도를 갖는 2종의 물질을 각각 부착하는 단계;를 포함하며,상기 기판의 하부면에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 냉접점부에 대응하는 물질은 상기 열접점부에 대응하는 물질보다 열전도도가 작으며,상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 열접점부에 대응하는 물질은 Si(silicon)이고, 상기 냉접점부에 대응하는 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 (a) 단계의 금속층을 형성하기 전에 상기 기판 위에는 티타늄(Ti)으로 이루어진 접착층이 추가적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 중에서 상기 냉접점부에 대응하는 물질의 부착면적은 상기 열접점부에 대응하는 물질의 부착면적보다 큰 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 기판 하부에 부착되는 2종의 물질 및 상기 기판은 굽힘이 가능한 유연성 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 평면형 열전소자 제조방법
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