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광신호를 출력하는 광원;상기 광원에서 출력된 광신호를 반사광 및 투과광으로 분리하는 광분할기;상기 반사광 및 투과광을 서로 다른 주파수로 변조하여 반사하는 구동 반사경; 및상기 구동 반사경에 의해 주파수 변조된 광신호를 분석하는 검출부를 포함하는 헤테로다인 간섭계
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제1항에 있어서, 상기 구동 반사경은, 상기 반사광이 입사되며, 상기 반사광의 주파수를 변조하여 상기 광분할기로 다시 반사하는 제1 구동 반사경; 및상기 투과광이 입사되며, 상기 투과광의 주파수를 변조하여 상기 광분할기로 다시 반사하는 제2 구동 반사경을 포함하는 헤테로다인 간섭계
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제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 구동 반사경은, 상기 광분할기를 거쳐 입사되는 반사광 또는 투과광과 나란한 방향으로 미리 설정된 범위 내에서 미리 설정된 속도로 움직이는 헤테로다인 간섭계
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제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 구동 반사경은, 미리 설정된 주기로 소정 각도 범위 내에서 틸팅되는 헤테로다인 간섭계
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제2항에 있어서,상기 제1 및 제2 구동 반사경에서 반사된 광신호는 상기 광분할기에 의해 투과 또는 반사되어 상기 검출부로 입력되는 헤테로다인 간섭계
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제2항에 있어서,상기 광분할기와 상기 제2 구동 반사경 사이의 광 경로상에 시료 물질이 배치되며, 상기 검출부는 상기 제1 구동 반사경에서 반사되는 광신호와 상기 시료 물질을 통과한 광신호의 상관관계를 분석하는 헤테로다인 간섭계
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광신호를 출력하는 광원;상기 광원에서 출력된 광신호를 TM 편광시키는 편광기;상기 TM 편광된 광신호를 반사광 및 투과광으로 분리하는 광분할기;상기 반사광을 전반사하는 제1 프리즘-상기 제1 프리즘 상에는 금속 박막이 배치되며 상기 반사광에 의해 1차 표면 플라즈몬 공명 현상이 발생됨-;상기 투과광을 전반사하는 제2 프리즘--상기 제2 프리즘 상에는 금속 박막이 배치되며 상기 투과광에 의해 1차 표면 플라즈몬 공명 현상이 발생됨-;상기 제1 프리즘 및 제2 프리즘에서 전반사된 광신호의 주파수를 변조하여 반사하는 하나 이상의 구동 반사경; 및상기 구동 반사경에 의해 주파수 변조된 광신호를 분석하는 검출부를 포함하는 센서
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제7항에 있어서, 상기 구동 반사경은, 상기 제1 프리즘에서 전반사된 광신호를 주파수 변조하여 상기 제1 프리즘으로 다시 반사하는 제1 구동 반사경; 및 상기 제2 프리즘에서 전반사된 광신호를 주파수 변조하여 상기 제2 프리즘으로 다시 반사하는 제2 구동 반사경을 포함하는 센서
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제8항에 있어서,상기 제1 및 제2 구동 반사경에 의해 반사된 광신호에 의해 상기 제1 프리즘 및 상기 제2 프리즘 상에서 2차 플라즈몬 공명 현상이 발생되며, 상기 검출부는 상기 1차 및 2차 표면 플라즈몬 공명 현상의 발생에 의한 증폭된 신호가 입력되는 센서
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제8항에 있어서,상기 제1 및 제2 구동 반사경은, 상기 제1 프리즘 및 제2 프리즘에서 전반사된 광신호와 나란한 방향으로 미리 설정된 범위 내에서 미리 설정된 속도로 움직이는 센서
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제10항에 있어서,상기 제1 및 제2 구동 반사경의 움직임에 따른 도플러 시프트 효과에 의해 상기 전반사된 광신호의 주파수가 변조되는 센서
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광신호를 출력하는 광원;상기 광원에서 출력된 광신호를 반사광 및 투과광으로 분리하는 제1 광분할기;상기 반사광 및 투과광의 주파수를 변조하여 반사하는 복수의 구동 반사경; 상기 복수의 구동 반사경에 의해 주파수 변조된 광신호를 TM 편광시키는 편광기;상기 편광된 광신호를 반사광 및 투과광으로 분리하는 제2 광분할기;상기 제2 광분할기에서 출력된 반사광을 전반사하는 제1 프리즘-상기 제1 프리즘 상에는 금속 박막 및 시료 물질이 배치되며 상기 반사광에 의해 표면 플라즈몬 공명 현상이 발생됨-;상기 제2 광분할기에서 출력된 투과광을 전반사하는 제2 프리즘--상기 제2 프리즘 상에는 금속 박막 및 시료 물질이 배치되며 상기 투과광에 의해 표면 플라즈몬 공명 현상이 발생됨-;상기 제1 프리즘에서 전반사되는 광신호를 수신하는 제1 검출부; 및상기 제2 프리즘에서 전반사되는 광신호를 수신하는 제2 검출부를 포함하는 센서
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제12항에 있어서, 상기 구동 반사경은, 상기 제1 프리즘에서 전반사된 광신호를 주파수 변조하여 상기 제1 프리즘으로 다시 반사하는 제1 구동 반사경; 및 상기 제2 프리즘에서 전반사된 광신호를 주파수 변조하여 상기 제2 프리즘으로 다시 반사하는 제2 구동 반사경을 포함하는 센서
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