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서로 상대운동하는 2개의 MEMS 구조물 사이에 설치되는 베어링에 있어서,상기 베어링은 일측에 일정 간격의 갭(gap)이 형성된 'C'자형 횡단면 구조를 가지는 튜브(tube) 형태의 롤러 베어링(roller bearing)인 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링
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제1항에 있어서, 상기 롤러 베어링은 실리콘 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링
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제1항에 있어서, 상기 롤러 베어링의 내부 공간에는 알루미늄(aluminum)이 채워진 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링
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제1항에 있어서, 상기 롤러 베어링의 내부 공간에는 폴리머(polymer)가 채워진 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링
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서로 상대운동하는 2개의 MEMS 구조물 사이에 설치되어 구름운동을 하는 복수의 베어링을 구비한 MEMS 장치에 있어서,상기 베어링은 일측에 일정 간격의 갭(gap)이 형성된 'C'자형 횡단면 구조를 가지는 튜브(tube) 형태의 롤러 베어링(roller bearing)인 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링을 구비한 MEMS 장치
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제5항에 있어서, 상기 복수의 롤러 베어링은 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링을 구비한 MEMS 장치
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제5항에 있어서, 상기 롤러 베어링은 실리콘 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링을 구비한 MEMS 장치
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제5항에 있어서, 상기 롤러 베어링의 내부 공간에는 알루미늄(aluminum)이 채워진 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링을 구비한 MEMS 장치
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제5항에 있어서, 상기 롤러 베어링의 내부 공간에는 폴리머(polymer)가 채워진 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링을 구비한 MEMS 장치
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(a) 중간 부분에 절연층이 형성된 샌드위치 구조를 갖는 기판 위에 포토레지스트를 도포한 후, 'C'자 형태의 복수의 패턴 구조가 형성되도록 상기 포토레지스트를 패터닝하는 단계와;(b) 상기 패터닝된 포토레지스트를 마스크(mask)로 사용하여 상기 기판의 중간 부분에 위치한 상기 절연층까지 상기 기판을 수직으로 식각하는 단계와;(c) 상기 기판 위에 패터닝된 포토레지스트층을 제거한 후 상기 절연층을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 기판은 중간 부분에 절연층인 실리콘 산화막(SiO2)이 형성된 SOI(silicon-on-insulator) 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 (b)단계에서 상기 기판의 식각은 DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 공정을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 (c)단계에서 상기 절연층의 제거는 불화수소(HF)를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 공차 보상 기능을 갖는 롤러 베어링의 제조방법
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