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기판과, 상기 기판 위에 배열되는 복수의 반사방지 나노 구조물을 포함하는 나노 구조체에 있어서,상기 나노 구조물은 경사굴절률을 제공하는 측면부가 경사진 형태의 광결정구조물로서, 상기 나노 구조물의 상단에는 1/4 파장(quarter wavelength)의 반사방지 기능을 갖는 나노 섬(nano islands)이 결합된 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체
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제1항에 있어서, 상기 기판은 반도체 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체
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제1항에 있어서, 상기 나노 구조물은 원뿔대, 각뿔대, 절두체 중 어느 하나의 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체
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제1항에 있어서, 상기 나노 섬은 이중계면에서 1/4 광학 파장 두께를 구현할 수 있는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체
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제1항에 있어서, 상기 나노 구조물 및 나노 섬은 나노구(nano sphere) 리소그래피, 광 리소그래피, 나노 임프린트 공정 중에서 어느 하나의 공정을 거쳐 형성된 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체
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제5항에 있어서, 상기 기판과 나노 구의 식각은 반응성 이온식각(RIE), 유도 결합 플라즈마(ICP)를 이용한 식각 등의 건식 식각이나 수산화칼륨(KOH) 등의 부식액을 이용한 습식 식각 중 어느 하나의 식각 공정을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체
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실리콘 기판 위에 배열된 복수의 나노 구조물 상단에 1/4 파장 대역의 반사방지를 위한 나노 섬이 형성된 나노 구조체를 제조하기 위한 방법에 있어서, 실리콘 기판 위에 복수의 나노 구(nano sphere)를 도포하여 주기적 입자 어레이(periodic particle array)를 형성한 후, 상기 실리콘 기판 및 나노 구를 일정시간 동안 동시에 식각하는 나노구 리소그래피(nanosphere lithography) 공정을 통해 제조되는 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구는 폴리스티렌(Polystyrene) 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구조물은 원뿔대, 각뿔대, 절두체 중 어느 하나의 형태로 이루어진 것을 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 실리콘 기판 및 나노 구의 식각은 반응성 이온식각(RIE), 유도 결합 플라즈마(ICP)를 이용한 식각 등의 건식 식각이나 수산화칼륨(KOH) 등의 부식액을 이용한 습식 식각 중 어느 하나의 식각 공정을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구조물 위에 형성되는 나노 섬의 두께는 반응성 이온식각(RIE)의 처리시간 조정을 통해 제어되는 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 나노 구는 나노구 리소그래피에 의한 실리콘 기판의 식각 과정시 식각 마스크(mask)로 사용되는 것을 특징으로 하는 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체를 구비한 태양전지
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 광대역 무반사 효과를 갖는 나노 섬이 형성된 나노 구조체를 구비한 광전소자
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