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저온 용액공정용 투명 유전체 박막 형성용 코팅액 및 상기 코팅액에 의해 형성한 박막을 구비한 투명 무기 박막 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2015126461
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 투명 유전체 박막 형성용 코팅액가 제공된다. 상기 코팅액는 알루미늄을 포함하는 제1 물질과, 지르코늄을 포함하는 제2 물질과, 상기 제1 물질 및 제2 물질을 용해시키는 용매를 포함하고, 상기 용매는 제1 용매 및 제2 용매로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 26/00 (2006.01) H01L 29/786 (2006.01) C09D 1/00 (2006.01) H01L 21/18 (2006.01)
CPC H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01) H01L 21/02175(2013.01)
출원번호/일자 1020120125890 (2012.11.08)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1499510-0000 (2015.03.02)
공개번호/일자 10-2014-0059435 (2014.05.16) 문서열기
공고번호/일자 (20150306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140055215;
심사청구여부/일자 Y (2012.11.08)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문주호 대한민국 서울 서대문구
2 양우석 대한민국 서울 서대문구
3 송근규 대한민국 경기 용인시 수지구
4 정양호 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0917471-40
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0051138-71
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0768055-43
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0060010-75
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0278001-18
9 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2014.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0435435-14
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0490337-61
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0583022-43
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0582991-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0790541-74
15 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.12.08 수리 (Accepted) 7-1-2014-0046764-91
16 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.01.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0046568-98
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0046554-59
18 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0122909-72
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번호 청구항
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알루미늄 질화물(aluminum nitride), 알루미늄 염화물(aluminum chloride) 및 알루미늄 아세트산염(aluminum acetate) 중 선택되는 제1 전구체 물질과, 지르코늄 질화물(zirconium nitride), 지르코늄 염화물(zirconium chloride) 및 지르코늄 아세트산염(zirconium acetate) 중 선택되는 제2 전구체 물질을 97:3 내지 50:50의 몰비로 혼합하여, 아세토나이트릴, 에틸렌글리콜, 2메톡시에탄올, 암모니아수, 아세트산, 아이소프로필알코올 중 선택되는 2개의 용매가 30:70 내지 70:30의 부피비로 혼합된 용매에 용해시켜 형성한 코팅액을 이용하여 형성한 유전체 박막을 포함하고, 상기 유전체 박막은 300℃ 이하의 온도에서 열처리하여 상기 전구체를 옥사이드 형태로 변화시키고, 하이드록실 기와 산소 공공의 양을 감소시켜 절연성능을 향상시켜 형성된 것인, 투명 무기 박막 트랜지스터
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1 교육과학기술부 연세대학교 산학협력단 리더연구자지원사업(창의적연구) 그린솔라잉크연구단