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위상 축소 이미징 시스템 및 이를 이용한 이미징 방법

  • 기술번호 : KST2015126813
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예에 따른 위상 축소 이미징 시스템은 레이저 광원의 광을 조사(照射)하는 광원 조사부; 상기 레이저 광원의 광을 회절 및 간섭하는 회절 간섭부; 시료를 거치하고 상기 회절 간섭부를 거친 광이 조사되는 거치부; 상기 시료에서 도출된 광을 변조하는 광변조부; 상기 광변조부를 거친 광 정보를 이미지로 촬상하는 촬상부; 및 상기 광원 조사부, 상기 거치부 및 상기 촬상부에 연결된 연산제어부;를 포함한다. 본 발명의 실시예에 따른 위상 축소 이미징 시스템 및 이를 이용한 이미징 방법은 특별한 광학 부품 없이도 위상 접힘 현상을 방지하고, 레이저 광원의 광 파장보다 큰 측정 시료의 위상을 축소시켜 획득된 단일 이미지에서 실시간으로 정량적인 위상정보를 추출할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G06F 17/00 (2006.01) G01B 11/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G06T 7/00 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01) G01N 21/84 (2006.01)
CPC G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020140050524 (2014.04.28)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1547459-0000 (2015.08.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150826) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.28)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김덕영 대한민국 서울특별시 서대문구
2 베남 이란 서울특별시 서대문구
3 소병휘 대한민국 경기도 성남시 분당구
4 모하마드 이란 서울시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0402373-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0000867-21
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0134453-80
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0406541-11
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0406555-49
8 등록결정서
Decision to grant		 2015.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0467727-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 광원의 광을 조사(照射)하는 광원 조사부; 상기 레이저 광원의 광을 회절 및 간섭하는 회절 간섭부; 시료를 거치하고 상기 회절 간섭부를 거친 광이 조사되는 거치부; 상기 시료에서 도출된 광을 변조하는 광변조부; 상기 광변조부를 거친 광 정보를 이미지로 촬상하는 촬상부; 및 상기 광원 조사부, 상기 거치부 및 상기 촬상부에 연결된 연산제어부; 를 포함하고,상기 광변조부는 제 3 렌즈와 제 4 렌즈를 포함하고, 상기 시료에서 도출된 광의 진동수를 변조(變調)하여, 변조된 진동수(q)를 갖는 광을 상기 촬상부로 전달하는 위상 축소 이미징 시스템
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 회절 간섭부와 거치부 사이에 구비되어 상기 시료에서 도출되는 광의 경로를 변환하는 반사 미러 또는 빔 스플리터(beam splitter)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 축소 이미징 시스템
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 회절 간섭부는 상기 레이저 광원의 조사광을 투과하면서 회절시키는 투과 회절격자(transmission grating); 상기 투과 회절격자에서 0차 회절된 광과 1차 회절된 광은 투과시키고 나머지 회절광들은 차단하는 홀(hole)을 구비한 공간 필터(spatial filter); 상기 투과 회절격자와 상기 공간 필터 사이에 구비된 제 1 렌즈; 및 상기 공간 필터를 거친 광을 집광하는 제 2 렌즈; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 축소 이미징 시스템
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 투과 회절격자의 피치 간격 및 상기 제 1 렌즈와 제 2 렌즈의 배율은 상기 1차 회절된 광에 해당하여 상기 시료에 입사되는 제 2 광선의 경사각(θ)을 결정하고, 상기 0차 회절된 광에 해당하는 제 1 광선과 상기 제 2 광선 사이의 각도는 위상 이미지를 축소시키는 RF(Reduction Factor)를 결정하는 것을 특징으로 하는 위상 축소 이미징 시스템
5 5
삭제
6 6
(A) 레이저 광원의 광을 회절 간섭부에서 회절 및 간섭하여 시료에 조사하는 단계; (B) 상기 시료로부터 도출되는 광을 광변조부에서 변조하여 촬상부로 전달하는 단계; 및 (C) 상기 촬상부에 연결된 연산제어부가 상기 시료의 이미지에 대한 정량적인 위상정보를 추출하는 단계; 를 포함하고,상기 광변조부는 제 3 렌즈와 제 4 렌즈를 포함하고, 상기 시료에서 도출된 광의 진동수를 변조(變調)하여, 변조된 진동수(q)를 갖는 광을 상기 촬상부로 전달하는 이미징 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 회절 간섭부는 상기 레이저 광원의 조사광을 투과하면서 회절시키는 투과 회절격자; 상기 투과 회절격자에서 0차 회절된 광과 1차 회절된 광은 투과시키고 나머지 회절광들은 차단하는 홀을 구비한 공간 필터; 상기 투과 회절격자와 상기 공간 필터 사이에 구비된 제 1 렌즈; 및 상기 공간 필터를 거친 광을 집광하는 제 2 렌즈; 를 포함하고, 상기 투과 회절격자의 피치 간격 및 상기 제 1 렌즈와 제 2 렌즈의 배율은 상기 1차 회절된 광에 해당하여 상기 시료에 입사되는 제 2 광선의 경사각(θ)을 결정하는 것을 특징으로 하는 이미징 방법
8 8
삭제
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 (C) 단계는 (C-1) 상기 시료의 이미지 위상을 축소하는 RF(Reduction Factor)에 관한 정보를 검출하는 단계; 및 (C-2) 상기 시료의 이미지를 2차원 또는 3차원으로 재구축하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미징 방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 (C-2) 단계에서 위상 접힘(Phase wrapping) 현상을 방지하며 도출되는 위상의 최대 높이(hmax)는 (λ는 상기 레이저 광원의 공기 중 파장, θ는 상기 시료에 입사되는 제 1 광선과 제 2 광선이 이루는 각도) 인 것을 특징으로 하는 이미징 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.