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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 장치로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 체인 생성부; 및상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 간섭 지연 측정부를 포함하고,상기 간섭 지연 측정부는,상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하는 서브 간섭 지연 측정부;상기 복수의 그룹에 대해 측정된 서브 간섭 지연시간들로부터, 상기 제1 관통전극에 대한 개별 간섭 지연시간을 측정하는 개별 간섭 지연 측정부; 및상기 관통전극들 각각에 대하여 측정된 개별 간섭 지연시간으로부터 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 전체 간섭 지연 측정부를 포함하는 관통전극의 간섭 지연 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 개별 간섭 지연 측정부는 하기의 식 1에 따라 상기 개별 간섭 지연시간을 측정하고,[식 1]상기 식 1에서, DelayVICTIM은 상기 개별 간섭 지연시간, NCHAIN은 그룹의 개수, ai는 미리 설정된 공정변수, di는 그룹 내의 체인 구조로 연관된 인접 관통전극들 간의 거리, delayi는 상기 서브 간섭 지연시간을 나타내는 관통전극의 간섭 지연 측정 장치
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 장치로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 체인 생성부;상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 간섭 지연 측정부; 및랜덤 담금질 기법을 사용하여 상기 간섭 지연시간이 최소화되도록 상기 관통전극들의 신호 코딩을 교환하는 코딩 변경부를 포함하는 관통전극의 간섭 지연 측정 장치
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 장치로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 체인 생성부; 및상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 간섭 지연 측정부를 포함하고,상기 체인 생성부는 상기 제1 관통전극을 중심으로 설정된 각도를 기준으로 상기 관통전극들을 상기 복수의 그룹으로 나누는 관통전극의 간섭 지연 측정 장치
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 장치로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 체인 생성부; 및상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 간섭 지연 측정부를 포함하고,상기 체인 생성부는 상기 제1 관통전극으로부터 거리를 기반으로 각 그룹에 속하는 관통전극들을 상기 체인 구조로 연관시키는 관통전극의 간섭 지연 측정 장치
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 방법으로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 단계; 및상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 단계를 포함하고,상기 간섭 지연시간을 측정하는 단계는,상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하는 단계;상기 복수의 그룹에 대해 측정된 서브 간섭 지연시간들로부터, 상기 제1 관통전극에 대한 개별 간섭 지연시간을 측정하는 단계; 및상기 관통전극들 각각에 대하여 측정된 개별 간섭 지연시간으로부터 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 단계를 포함하는 관통전극의 간섭 지연 측정 방법
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 방법으로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 단계;상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 단계; 및랜덤 담금질 기법을 사용하여 상기 간섭 지연시간이 최소화되도록 상기 관통전극들의 신호 코딩을 교환하는 단계를 포함하는 관통전극의 간섭 지연 측정 방법
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 방법으로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 단계; 및상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 단계를 포함하고,상기 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 단계는 상기 제1 관통전극을 중심으로 설정된 각도를 기준으로 상기 관통전극들을 상기 복수의 그룹으로 나누는 관통전극의 간섭 지연 측정 방법
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3차원 반도체의 적층된 다이 간에 신호를 전달하는 관통전극들의 간섭 지연을 측정하는 방법으로서,관통전극들 중에서 결정된 제1 관통전극을 기준으로 상기 관통전극들을 복수의 그룹으로 나누고, 상기 복수의 그룹 각각의 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 단계; 및상기 복수의 그룹별로 상기 체인 구조로 연관된 관통전극들 간의 서브 간섭 지연시간을 측정하고, 상기 복수의 그룹별로 측정된 서브 간섭 지연시간을 이용하여 상기 관통전극들의 간섭 지연시간을 측정하는 단계를 포함하고,상기 관통전극들을 체인 구조로 연관시키는 단계는 상기 제1 관통전극으로부터 거리를 기반으로 각 그룹에 속하는 관통전극들을 상기 체인 구조로 연관시키는 관통전극의 간섭 지연 측정 방법
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제7 항 및 제9 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 기재된 상기 관통전극의 간섭 지연 측정 방법을 실행하기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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