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분배 유로를 갖는 열센서와 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015127129
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판(2); 상기 기판(2)의 상단면 일측에 형성된 제 1 열저항층(4); 상기 제 1 열저항층(4) 상단면에 형성된 열전대층(6); 상기 열전대층(6)이 형성되지 않은 제 1 열저항층(4)의 상단면 일측 및 상기 열전대층(6) 상단 일측에 고온 접합부(18)와 저온 접합부(16)를 구분하기 위해 형성된 제 2 열저항층(8); 및 상기 제 2 열저항층(8) 상단에 형성되어 분배 유로의 외형을 제공하는 분배 유로층(10)을 포함하는 분배 유로를 갖는 열센서에 관한 것이다. 본 발명은 열전도성이 낮은 열저항층 상단면에 열전대를 형성하여 기판으로 빠져나가는 기생열전달 효과를 감소시킬 수 있고, 열전대 상단에 분배 유로를 형성하여 접합부의 온도 조절을 위한 가열기 삽입 및 상기 가열기를 이용한 온도 조절 과정을 생략할 수 있는 효과가 있다. 열센서, 분배 유로, 열저항층, 열전대층
Int. CL H01L 35/00 (2006.01) G01K 7/00 (2006.01)
CPC G01K 7/02(2013.01) G01K 7/02(2013.01) G01K 7/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060040418 (2006.05.04)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0791987-0000 (2007.12.28)
공개번호/일자 10-2007-0107881 (2007.11.08) 문서열기
공고번호/일자 (20080104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.04)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용준 대한민국 서울 서초구
2 윤승일 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이세진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)(특허법인다나)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2006-0317026-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0010833-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0157847-72
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.05.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0386556-59
6 의견서
Written Opinion		 2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0386557-05
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0527178-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판의 상단면에 형성된 제 1 열저항층; 상기 제 1 열저항층 상단면에 형성된 열전대층; 상기 열전대층이 형성되지 않은 제 1 열저항층의 상단면 및 상기 열전대층 상단에 고온 접합부와 저온 접합부를 구분하기 위해 형성된 제 2 열저항층; 및 상기 제 2 열저항층 상단에 형성되어 분배 유로의 외형을 제공하는 분배 유로층을 포함하는 분배 유로를 갖는 열센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 열전대층은 제 1 금속저항층 및 제 2 금속저항층으로 구성된 것을 특징으로 하는 분배 유로를 갖는 열센서
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제 1 열저항층 및 제 2 열저항층은 SU-8을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 분배 유로를 갖는 열센서
4 4
기판의 상단면에 제 1 열저항층을 형성하는 단계; 상기 열저항층 상단면에 열전대층을 구성하는 제 1 금속저항층을 형성하는 단계; 상기 제 1 금속저항층이 형성된 열저항층 상단면에 열전대층을 구성하는 제 2 금속저항층을 형성하는 단계; 상기 열전대층이 형성되지 않은 제 1 열저항층의 상단면 및 상기 열전대층 상단에 고온 접합부와 저온 접합부의 영역을 구분하는 제 2 열저항층을 형성하는 단계; 및 상기 제 2 열저항층 상단에 분배 유로의 외형을 제공하는 분배 유로층을 결합하는 단계를 포함하는 분배 유로를 갖는 열센서의 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 분배 유로층은 상기 기판과 다른 기판 상단면에 상기 제 2 열저항층 사이의 간격에 대응되는 열저항층 몰드를 형성하는 단계 및 상기 열저항층 몰드 상단면에 PDMS를 분사하고 소성시킨 후 기판 및 열저항층 몰드로부터 분배 유로층을 분리하는 단계를 통하여 제조되는 것을 특징으로 하는 분배 유로를 갖는 열센서의 제조방법
6 6
제 4항에 있어서, 상기 분배 유로층은 상기 기판과 다른 제 2 기판 상단면에 서로의 간격이 상기 제 2 열저항층의 너비와 동일한 열저항층 몰드를 형성하여, 상기 열저항층 몰드 상단면에 PDMS를 분사하고 소성시킨 후 제 2 기판 및 열저항층 몰드로부터 분배 유로층을 분리하여 제조하는 것을 특징으로 하는 분배 유로를 갖는 열센서의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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