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일정량의 희석용 압축공기를 공급하는 압축공기공급부;미립자의 원료인 분무용액을 저장하고 상기 저장된 분무용액의 일정량을 공급하는 분무용액공급부;상기 압축공기공급부 및 분무용액공급부로부터 압축공기 및 분무용액을 공급받아 제1 미립자를 발생시키는 제1 컨디셔너;상기 제1 컨디셔너 및 상기 압축공기공급부로부터 제1 미립자 및 압축공기를 공급받아 제2 미립자를 발생시키는 제2 컨디셔너; 및상기 제1 및 제2 컨디셔너로부터 발생되는 제1 및 제2 미립자의 특성을 제어하기 위해 상기 제1 및 제2 컨디셔너의 온도를 조절하는 제1 컨트롤러;를 포함하는 미립자 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 압축공기공급부는,상기 제1 컨디셔너에서 발생되는 제1 미립자의 특성을 조절하기 위해 공급되는 압축공기의 양을 제어하여 상기 제1 컨디셔너에 공급하는 제1 MFC; 및 상기 제2 컨디셔너에서 발생되는 제2 미립자의 특성을 조절하기 위해 공급되는 압축공기의 양을 제어하여 상기 제2 컨디셔너에 공급하는 제2 MFC;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 분무용액공급부는, 제1 분무용액을 저장하는 제1 용액저장부;제2 분무용액을 저장하는 제2 용액저장부;상기 제1 컨디셔너로 공급되는 제1 및 제2 분무용액의 양을 제어하는 제2 컨트롤러;상기 제2 컨트롤러에 의해 제어되며, 상기 제2 컨트롤러에 의해 정해진 제1 분무용액의 양을 상기 제1 컨디셔너로 공급하는 제1 펌프; 및상기 제2 컨트롤러에 의해 제어되며, 상기 제2 컨트롤러에 의해 정해진 제2 분무용액의 양을 상기 제1 컨디셔너로 공급하는 제2 펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 컨디셔너는,상기 압축공기공급부 및 분무용액공급부로부터 공급된 압축공기와 제1 및 제2 분무용액을 혼합시키기 위한 회전동력을 전달하는 동력전달부;상기 동력전달부로부터 전달된 회전동력에 의해 회전하며 상기 압축공기와 제1 및 제2 분무용액을 원하는 혼합비율로 혼합시키는 마그네틱 바;상기 마그네틱 바에 의해 혼합된 압축공기와 제1 및 제2 분무용액을 이용하여 제1 미립자를 발생시키는 제1 분무기; 및상기 제1 분무기의 외곽부에 구비되고 상기 제1 컨트롤러에 의해 제어되며, 상기 제1 분무기로부터 발생된 제1 미립자의 발생 및 형상을 균일하게 하기 위해 상기 제1 분무기를 가열하는 제1 가열챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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제4항에 있어서, 상기 동력전달부는,상기 마그네틱 바를 회전시키기 위한 회전동력을 상기 마그네틱 바에 전달하는 마그네틱 휠;상기 마그네틱 휠을 회전시키는 모터; 및상기 모터의 회전을 제어하여 상기 제1 및 제2 분무용액과 압축공기를 원하는 혼합비율로 혼합시키는 제3 컨트롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 제2 컨디셔너는,상기 제1 컨디셔너 및 압축공기공급부로부터 제1 미립자 및 압축공기를 공급받아 제2 미립자를 발생시키는 제2 분무기;탈착형으로 구성되어 원하는 크기로 교체 가능하며, 상기 제2 분무기에서 발생된 제2 미립자의 크기를 조절하여 발생시키는 노즐; 및상기 제2 분무기의 외곽부에 구비되고 상기 제1 컨트롤러에 의해 제어되며, 상기 제2 분무기로부터 발생되는 제2 미립자의 발생 및 형상을 균일하게 하기 위해 상기 제2 분무기를 가열하는 제2 가열챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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제1항에 있어서,상기 제2 컨디셔너와 연결되고, 상기 제2 컨디셔너로부터 발생된 제2 미립자의 크기를 증가시키기 위한 냉각챔버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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제1항에 있어서,상기 압축공기공급부 및 제2 컨디셔너와 연결되고, 상기 압축공기 및 제2 미립자를 공급받아 극미세영역의 입자를 발생시키는 극미세입자 발생부를 더 포함하며,상기 극미세입자 발생부는, 일정량의 희석용 압축공기를 공급하는 제3 및 제4 MFC;상기 제3 MFC로부터 공급받은 압축공기 및 극미세입자의 원료가 되는 물질을 가열하여 기체를 발생시키는 제3 가열챔버;상기 제3 가열챔버로부터 발생되는 기체의 특성을 제어하기 위해 상기 제3 가열챔버의 온도를 조절하는 제4 컨트롤러;상기 제3 가열챔버 및 제4 MFC로부터 기체 및 압축공기를 공급받아 제4 미립자를 발생시키는 제3 컨디셔너; 및상기 제2 컨디셔너 및 제3 컨디셔너로부터 발생되는 제2 및 제4 미립자를 공급받아 이를 서로 혼합시켜 극미세영역의 제5 미립자를 발생시키는 제4 컨디셔너;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치
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