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1
원기둥 형상으로 형성되며, 상기 원기둥의 외주면을 따라 배치되는 복수 개의 영구자석을 포함하는 내축부; 및
상기 내축부와 일정 간격 이격되어 상기 내축부의 외주면을 감싸도록 구성되며, 회전 구동부와 선형 구동부를 포함하는 외주 실린더부;
를 포함하여 구성되며,
상기 복수 개의 영구자석은, 상기 원기둥의 외주면을 향하는 면을 상기 영구자석의 하면, 상기 영구자석의 하면에 대향하는 바깥면을 상기 영구자석의 상면이라 할 때, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원기둥의 축 방향으로 교대로 배열됨과 동시에, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원기둥의 축과 수직한 방향으로 교대로 배열되도록 상기 원기둥의 외주면을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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2
제1항에 있어서,
상기 복수 개의 영구자석은 직사각형 형태의 복수 개의 자석모듈을 구성하여 상기 원기둥의 외주면을 따라 격자 형태로 배치되며,
상기 각 자석모듈은, 상면이 N극이 되도록 상기 직사각형의 좌상단에 구비되는 제1영구자석, 및 상면이 S극이 되도록 상기 직사각형의 우하단에 구비되는 제2영구자석으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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3
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부는, 단상 또는 3상의 회전형 브러시리스 전동기인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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| 4 |
4
제3항에 있어서,
상기 회전형 브러시리스 전동기에 구비된 복수 개의 회전 코일 각각의 축 방향 길이는 상기 자석모듈의 축 방향 길이의 N 배(N은 자연수)인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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5
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선형 구동부는, 단상 또는 3상의 선형 브러시리스 전동기인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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| 6 |
6
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 회전 구동부와 연결되며, 상기 내축부의 회전 운동을 제어하는 회전 제어부; 및
상기 선형 구동부와 연결되며, 상기 내축부의 축 방향 직선 운동을 제어하는 선형 제어부;
를 더 포함하며,
상기 회전 제어부 및 선형 제어부는 각각 독립적으로 상기 내축부의 회전 운동 및 직선 운동을 제어하는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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7
원기둥 형상으로 형성되며, 회전 구동부와 선형 구동부를 포함하는 내축부; 및
상기 상기 내축부와 일정 간격 이격되어 상기 내축부의 외주면을 감싸도록 원통 형태로 구성되며, 상기 원통의 내주면을 따라 배치되는 복수 개의 영구자석을 포함하는 외주 실린더부;
를 포함하여 구성되며,
상기 복수 개의 영구자석은, 상기 원통의 중심을 향하는 면을 상기 영구자석의 하면, 상기 영구자석의 하면에 대향하는 바깥면을 상기 영구자석의 상면이라 할 때, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원통의 축 방향으로 교대로 배열됨과 동시에, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원통의 축과 수직한 방향으로 교대로 배열되도록 상기 원통의 내주면을 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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| 8 |
8
제7항에 있어서,
상기 복수 개의 영구자석은 직사각형 형태의 복수 개의 자석모듈을 구성하여 상기 원통의 내주면을 따라 격자 형태로 배치되며,
상기 각 자석모듈은, 상면이 N극이 되도록 상기 직사각형의 좌상단에 구비되는 제1영구자석, 및 상면이 S극이 되도록 상기 직사각형의 우하단에 구비되는 제2영구자석으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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| 9 |
9
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 회전 구동부는, 단상 또는 3상의 회전형 브러시리스 전동기인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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10
제9항에 있어서,
상기 회전형 브러시리스 전동기에 구비된 복수 개의 회전 코일 각각의 축 방향 길이는 상기 자석모듈의 축 방향 길이의 N 배(N은 자연수)인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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11
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 선형 구동부는, 단상 또는 3상의 선형 브러시리스 전동기인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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12
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 회전 구동부와 연결되며, 상기 내축부의 회전 운동을 제어하는 회전 제어부; 및
상기 선형 구동부와 연결되며, 상기 내축부의 축 방향 직선 운동을 제어하는 선형 제어부;
를 더 포함하며,
상기 회전 제어부 및 선형 제어부는 각각 독립적으로 상기 내축부의 회전 운동 및 직선 운동을 제어하는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기
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13
2자유도 전동기의 제조방법으로서,
(a) 원기둥 형상의 내축부를 형성하는 단계;
(b) 상기 형성된 원기둥의 외주면을 따라 복수 개의 영구자석을 배치하는 단계;
(c) 상기 영구자석이 배치된 내축부와 일정 간격 이격되어 상기 내축부의 외주면을 감싸도록 외주 실린더부를 형성하는 단계;
를 포함하며,
상기 (b) 단계는, 상기 원기둥의 외주면을 향하는 면을 상기 영구자석의 하면, 상기 영구자석의 하면에 대향하는 바깥면을 상기 영구자석의 상면이라 할 때, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원기둥의 축 방향으로 교대로 배열됨과 동시에, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원기둥의 축과 수직한 방향으로 교대로 배열되도록 상기 원기둥의 외주면을 따라 상기 복수 개의 영구자석을 배치하는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기의 제조방법
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14
제13항에 있어서,
상기 외주 실린더부는, 상기 내축부를 회전 이동시키는 회전 구동부, 및 상기 내축부를 축 방향으로 직선 이동시키는 선형 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기의 제조방법
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15
제13항 또는 제14항에 있어서,
상기 (b) 단계에서, 상기 복수 개의 영구자석은 직사각형 형태의 복수 개의 자석모듈을 구성하여 상기 원기둥의 외주면을 따라 격자 형태로 배치되며,
상기 각 자석모듈은, 상면이 N극이 되도록 상기 직사각형의 좌상단에 구비되는 제1영구자석, 및 상면이 S극이 되도록 상기 직사각형의 우하단에 구비되는 제2영구자석으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기의 제조방법
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16
제13항 또는 제14항에 있어서,
상기 회전 구동부는, 단상 또는 3상의 회전형 브러시리스 전동기인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기의 제조방법
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17
제16항에 있어서,
상기 회전형 브러시리스 전동기에 구비된 복수 개의 회전 코일 각각의 축 방향 길이는 상기 자석모듈의 축 방향 길이의 N 배(N은 자연수)인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기의 제조방법
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18
제13항 또는 제14항에 있어서,
상기 선형 구동부는, 단상 또는 3상의 선형 브러시리스 전동기인 것을 특징으로 하는 2자유도 전동기의 제조방법
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19
원기둥 형상으로 형성되며, 상기 원기둥의 외주면을 따라 배치되는 복수 개의 영구자석을 포함하는 내축부; 및
상기 내축부와 일정 간격 이격되어 상기 내축부의 외주면을 감싸도록 구성되며, 회전 구동부와 선형 구동부를 포함하는 외주 실린더부;
를 포함하여 구성되며,
상기 복수 개의 영구자석은, 상기 원기둥의 외주면을 향하는 면을 상기 영구자석의 하면, 상기 영구자석의 하면에 대향하는 바깥면을 상기 영구자석의 상면이라 할 때, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원기둥의 축 방향으로 교대로 배열됨과 동시에, 상면이 N극인 영구자석과 상면이 S극인 영구자석이 상기 원기둥의 축과 수직한 방향으로 교대로 배열되도록 상기 원기둥의 외주면을 따라 배치하며,
상기 내축부를 하우징에 고정하되, 상기 내축부의 원기둥 축이 수직으로 세워지도록 고정하며, 상기 내축부의 상부에는 시료를 놓을 수 있는 선반을 마련하여 상기 시료를 상, 하 직선 이동 및 회전이동 시켜 관측할 수 있도록 구성된 검사장치의 2자유도 전동기
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