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외부에서 인가된 신호에 의해 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키는 입력 IDT와;
상기 입력 IDT 로부터 발생하여 전달된 표면 탄성파를 흡수하여 전기신호로 바꾸거나 반사시키는 출력 IDT와;
상기 입력 및 출력 IDT가 패터닝되는 압전 탄성재질의 기판을 포함하여 이루어지며,
상기 출력 IDT를 서로 이격된 2개의 측정 대상물에 각각 연결하여 접속시킨 후, 상기 측정 대상물 사이의 간격 변화에 따라 발생하는 정전용량(capacitance) 변화에 따라, 표면 탄성파 발생 후 출력 IDT에서 반사되어 입력 IDT로 재입사되는 신호를 측정하거나, 출력 IDT에서 흡수되어 발생한 전하가 서로 이격되어 구성되어 있는 측정 대상물을 통과할 때 걸리게 되는 서로 이격된 2개의 측정대상물 양단에서의 전압을 측정하여, 상기 측정 대상물 사이의 미소 거리 및 변위를 측정할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서
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제1항에 있어서, 상기 입력 또는 출력 IDT에는 외부에서 인가되는 무선신호를 수신하거나 출력 신호를 송신할 수 있는 안테나가 연결된 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 출력 IDT와 접속되는 2개의 측정 대상물 중 적어도 어느 하나는 도전체(導電體) 또는 유전체(誘電體)인 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서
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서로 이격된 2개의 측정 대상물 사이의 거리를 측정할 수 있는 위치 측정 장치에 있어서,
상기 2개의 측정 대상물 사이의 거리를 정전용량 변화에 따른 표면 탄성파의 응답특성의 변화를 통해 감지할 수 있는 표면 탄성파 센서를 구비하되,
상기 표면 탄성파 센서는,
외부에서 인가된 신호에 의해 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키는 입력 IDT와;
상기 입력 IDT 로부터 발생하여 전달된 표면 탄성파를 흡수하여 전기신호로 바꾸거나 반사시키는 출력 IDT와;
상기 입력 및 출력 IDT가 패터닝되는 압전 탄성재질의 기판을 포함하여 이루어지며,
상기 출력 IDT를 서로 이격된 2개의 측정 대상물에 각각 연결하여 접속시킨 후, 상기 측정 대상물 사이의 간격 변화에 따라 발생하는 정전용량(capacitance) 변화에 따라, 표면 탄성파 발생 후 출력 IDT에서 반사되어 입력 IDT로 재입사되는 신호를 측정하거나, 출력 IDT에서 흡수되어 발생한 전하가 서로 이격되어 구성되어 있는 측정 대상물을 통과할 때 걸리게 되는 서로 이격된 2개의 측정대상물 양단에서의 전압을 측정하여, 상기 측정 대상물 사이의 미소 거리 및 변위를 측정할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 위치 측정 장치
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제4항에 있어서, 상기 입력 또는 출력 IDT에는 외부에서 인가되는 무선신호를 수신하거나 출력 신호를 송신할 수 있는 안테나가 연결된 것을 특징으로 하는 위치 측정 장치
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 출력 IDT와 접속되는 2개의 측정 대상물 중 적어도 어느 하나는 도전체(導電體) 또는 유전체(誘電體)인 것을 특징으로 하는 위치 측정 장치
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7
데이터가 저장되는 디스크와, 상기 디스크에 저장된 데이터를 읽거나 기록할 수 있는 헤드를 탑재한 슬라이더를 구비한 정보 저장 기기에 있어서,
상기 디스크 표면으로부터 슬라이드의 부상(浮上) 높이를 측정할 수 있는 표면 탄성파 센서를 구비하되,
상기 표면 탄성파 센서는,
외부에서 인가된 신호에 의해 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키는 입력 IDT와;
상기 입력 IDT로부터 발생하여 전달된 표면 탄성파를 흡수하여 전기신호로 바꾸거나 반사시키는 출력 IDT와;
상기 입력 및 출력 IDT가 패터닝되는 압전 탄성재질의 기판을 포함하여 이루어지며,
상기 출력 IDT를 서로 이격된 2개의 측정 대상물에 각각 연결하여 접속시킨 후, 상기 측정 대상물 사이의 간격 변화에 따라 발생하는 정전용량(capacitance) 변화에 따라, 표면 탄성파 발생 후 출력 IDT에서 반사되어 입력 IDT로 재입사되는 신호를 측정하거나, 출력 IDT에서 흡수되어 발생한 전하가 서로 이격되어 구성되어 있는 측정 대상물을 통과할 때 걸리게 되는 서로 이격된 2개의 측정대상물 양단에서의 전압을 측정하여, 상기 측정 대상물 사이의 미소 거리 및 변위를 측정할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 정보 저장 기기
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8
제7항에 있어서, 상기 입력 또는 출력 IDT에는 외부에서 인가되는 무선신호를 수신하거나 출력 신호를 송신할 수 있는 안테나가 연결된 것을 특징으로 하는 정보 저장 기기
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9
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 출력 IDT와 접속되는 2개의 측정 대상물 중 적어도 어느 하나는 도전체(導電體) 또는 유전체(誘電體)인 것을 특징으로 하는 정보 저장 기기
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