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다층 구조 소자

  • 기술번호 : KST2015127466
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다층 구조의 소자에 있어서, 제1 층 상의 제2 층의 커버율을 산출하는데 있어서 제3 층의 결정화율을 측정하여 결정하는 다층 구조 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 다층 구조 소자는 기판과, 기판 상에 피착된 제1 층과 제1 층 상에 피착된 제2 층 및 제2 층 상에 피착된 제3 층을 포함하고, 제1 층 상의 제2 층의 커버율은 제3 층의 결정화율에 의해 결정된다. 제3 층의 결정화율은 X-선 회절을 측정함으로써 구할 수 있다.
Int. CL H01L 51/50 (2006.01)
CPC H01L 51/5092(2013.01) H01L 51/5092(2013.01)
출원번호/일자 1020120002477 (2012.01.09)
출원인 서강대학교산학협력단, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1287746-0000 (2013.07.12)
공개번호/일자 10-2012-0018207 (2012.02.29) 문서열기
공고번호/일자 (20130719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2007-0091223 (2007.09.07)
관련 출원번호 1020070091223
심사청구여부/일자 Y (2012.01.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영주 대한민국 서울 마포구
2 김현정 대한민국 경기 고양시 덕양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2012.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0020548-73
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0118562-79
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0342672-90
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0424784-06
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0515996-80
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0607494-52
7 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2012.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0099526-91
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0659940-77
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0690042-64
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0690061-21
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0066229-61
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2013.03.04 수리 (Accepted) 7-1-2013-0008228-15
13 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.04.01 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2013-0012680-89
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
15 등록결정서
Decision to grant
2013.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0354151-21
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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다층 구조 소자로서,기판 상에 피착된 제1 층,제1 층 상에 피착된 제2 층, 및제2 층 상에 피착된 제3 층을 포함하되,X-선 회절에 의해 검출된 제2 층에 의해 유도된 제3 층의 결정화율에 기초하여, 제2 층의 제1 층에 대한 특정 커버율을 제공하는 두께로 피착된 제2 층을 포함하는, 다층 구조 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.